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1. (WO2008048001) MODULE DE NETTOYAGE MEGASONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/048001    N° de la demande internationale :    PCT/KR2007/003876
Date de publication : 24.04.2008 Date de dépôt international : 13.08.2007
CIB :
B08B 3/12 (2006.01)
Déposants : KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS [KR/KR]; 171 Jang-dong, Yuseong-gu, Daejeon 305-343 (KR) (Tous Sauf US).
LEE, Yang-lae [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
LIM, Eui-su [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
KIM, Hyun-se [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : LEE, Yang-lae; (KR).
LIM, Eui-su; (KR).
KIM, Hyun-se; (KR)
Mandataire : CENTRAL INTERNATIONAL PATENT FIRM; Kwanghwamoon P.O. Box 1978, Chongno-ku, Seoul (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2006-0102510 20.10.2006 KR
Titre (EN) MEGASONIC CLEANING MODULE
(FR) MODULE DE NETTOYAGE MEGASONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed herein is a megasonic cleaning module. The megasonic cleaning module includes a vibrator having a piezoelectric element mounted therein for generating ultrasonic waves by the vibration of the piezoelectric element, a first vibratory rod having a diameter gradually- decreased to concentrate the longitudinal ultrasonic waves generated from the vibrator, and a second vibratory rod for progressing the longitudinal ultrasonic waves, generated from the first vibratory rod, in the transverse direction. The size of the second vibratory rod at one side thereof where the second vibratory rod is coupled to the first vibratory rod is less than that of the second vibratory rod at the other side thereof, with the result that the longitudinal ultrasonic waves are not prevented from affecting the wafer.
(FR)L'invention concerne un module de nettoyage mégasonique comprenant un vibrateur pourvu d'un élément piézoélectrique destiné à générer par vibration des ondes ultrasonores, une première tige vibrante dont le diamètre décroît progressivement pour concentrer les ondes ultrasonores générées par le vibrateur, et une deuxième tige vibrante destinée à faire avancer les ondes ultrasonores longitudinales générées par la première tige vibrante, dans le sens transversal. La taille de la deuxième tige vibrante du côté où elle est couplée à la première tige est inférieure à celle de son autre côté. Il en résulte que les ondes ultrasonores longitudinales ne sont pas empêchées d'agir sur la plaquette.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)