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1. (WO2008047778) ARMOIRE À SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/047778    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/070142
Date de publication : 24.04.2008 Date de dépôt international : 16.10.2007
CIB :
B65G 1/04 (2006.01), B65G 1/00 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : IHI Corporation [JP/JP]; 1-1, Toyosu 3-chome, Koto-ku, Tokyo 1358710 (JP) (Tous Sauf US).
ISHIBASHI, Mareto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OONO, Toshitaka [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ISHIBASHI, Mareto; (JP).
OONO, Toshitaka; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-284131 18.10.2006 JP
Titre (EN) SUBSTRATE CABINET
(FR) ARMOIRE À SUBSTRATS
(JA) 基板保管庫
Abrégé : front page image
(EN)A substrate cabinet (1) is provided with multiple shelves (5) whereupon a plurality of cassettes (80) having hermetic covers for storing a plurality of substrates (W) can be placed; a substrate transfer section (20), which is movably arranged at the front (5a) of the multiple shelves (5) to open/close the hermetic cover of the cassette (80) placed on the multiple shelves (5) and to transfer a substrate (W) between the cassettes (80); and a cassette transfer section (30), which is movably arranged at the rear (5b) of the multiple selves (5) and carries in/out the cassettes (80) to and from all the cassette placing positions (5c) on the multiple shelves (5). With the substrate cabinet (1), substrates stored in the cassette can be replaced and the cassette can be carried in/out at a correct time.
(FR)L'invention concerne une armoire (1) à substrats comportant une pluralité d'étagères (5) sur lesquelles peuvent être placées une pluralité de cassettes (80) pourvues de couvercles hermétiques conçues pour stocker une pluralité de substrats (W) ; un moyen (20) de transfert de substrats susceptible de se déplacer sur le devant (5a) de la pluralité d'étagères (5) pour ouvrir/fermer le couvercle hermétique d'une cassette (80) placée sur l'une des étagères (5) et pour transférer un substrat (W) d'une cassette (80) à une autre ; et un moyen (80) de transfert de cassettes susceptible de se déplacer à l'arrière (5b) de la pluralité d'étagères (5) pour poser/retirer les cassettes (80) aux/des positions (5c) de mise en place de cassettes sur la pluralité d'étagères (5). L'armoire (1) à substrats permet de remplacer des substrats stockés dans une cassette et de poser/retirer une cassette de façon synchronisée.
(JA) 基板保管庫1は、複数の基板Wを収容する気密蓋付カセット80を複数載置可能な多段棚5と、多段棚5の正面5a側に移動可能に配置されて多段棚5に載置された気密蓋付カセット80の気密蓋を開閉すると共に気密蓋付カセット80同士間において基板Wを搬送する基板搬送部20と、多段棚5の背面5b側に移動可能に配置されて多段棚5の全てのカセット載置位置5cに対して気密蓋付カセット80を搬入出するカセット搬送部30と、を備える。この基板保管庫1によれば、カセットに収容される基板の入れ替え処理を行うと共に、カセットを適時に搬入出することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)