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1. (WO2008047422) PROCÉDÉ POUR INSPECTER UN SCHÉMA DE CÂBLAGES ET SYSTÈME CONÇU À CET EFFET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/047422    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/320723
Date de publication : 24.04.2008 Date de dépôt international : 18.10.2006
CIB :
G01N 21/956 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01)
Déposants : CASIO MICRONICS CO., LTD. [JP/JP]; 10-6, Imai 3-chome, Ome-shi, Tokyo 1988555 (JP) (Tous Sauf US).
HIRAMOTO, Masami [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OOHORI, Tetsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIRAMOTO, Masami; (JP).
OOHORI, Tetsuo; (JP)
Mandataire : ARAFUNE, Hiroshi; c/o KOYO INTERNATIONAL PATENT AND LAW FIRM, 5F., Nikko Kagurazaka Bldg., 18, Iwatocho, Shinjuku-ku, Tokyo 1620832 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) WIRING PATTERN INSPECTING METHOD AND WIRING PATTERN INSPECTING SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ POUR INSPECTER UN SCHÉMA DE CÂBLAGES ET SYSTÈME CONÇU À CET EFFET
(JA) 配線パターンの検査方法及び配線パターンの検査システム
Abrégé : front page image
(EN)Inspection accuracy of a wiring pattern is improved. A wiring pattern inspecting system (100) is provided for inspecting a wiring pattern which is formed by forming a resist pattern by exposing and developing a resist in a status where a conductive body and the resist are laminated on a substrate and then by etching the conductive body by etching. The wiring pattern inspecting system is provided with a simulator (70) for estimating the status of the wiring pattern, and an inspecting apparatus (40), which measures the status of the wiring pattern and compares the measurement results with judgment criteria by having the estimated results obtained from the simulator as the conformity judgment criteria for the wiring pattern.
(FR)L'invention concerne l'amélioration de l'exactitude de l'inspection d'un schéma de câblages. Selon l'invention, un système (100) d'inspection de schéma de câblages est utilisé pour inspecter un schéma de câblages qui est formé par un motif en matériau de protection grâce à l'exposition et au développement d'un matériau de protection dans un état, dans lequel un corps conducteur et le matériau de protection sont laminés sur un substrat, puis grâce à l'attaque chimique du corps conducteur. Le système d'inspection du schéma de câblages est doté d'un simulateur (70) destiné à estimer l'état du schéma de câblages, et d'un appareil d'inspection (40), qui mesure l'état du schéma de câblages et qui compare les résultats de la mesure avec des critères de jugement grâce aux résultats estimés obtenus à partir du simulateur et utilisés en tant que critères de jugement de conformité pour le schéma de câblages.
(JA) 配線パターンの検査精度を向上させる。  配線パターンの検査システム100は、基板上に導電体とレジストとを積層した状態で、前記レジストを露光・現像してレジストパターンを形成し、その後に前記導電体をエッチングして形成した配線パターンの検査システムであって、前記配線パターンの状態を予測するシミュレータ70と、前記配線パターンの状態を計測し、前記シミュレータの予測結果を前記配線パターンの良否の判定基準として、前記判定基準と計測結果とを照合する検査装置40と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)