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1. (WO2008046966) DÉTERMINATION DE SURFACE ET D'ÉPAISSEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/046966    N° de la demande internationale :    PCT/FI2007/050561
Date de publication : 24.04.2008 Date de dépôt international : 17.10.2007
CIB :
G01B 11/06 (2006.01), G01N 21/25 (2006.01), G01S 17/32 (2006.01), D21F 7/06 (2006.01), G01B 11/14 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01), G01N 21/55 (2006.01)
Déposants : VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS [FI/FI]; Vuorimiehentie 3, FI-02150 Espoo (FI) (Tous Sauf US).
KERÄNEN, Heimo [FI/FI]; (FI) (US Seulement)
Inventeurs : KERÄNEN, Heimo; (FI)
Mandataire : KOLSTER OY AB; Iso Roobertinkatu 23, P.O. Box 148, FI-00121 Helsinki (FI)
Données relatives à la priorité :
20065669 18.10.2006 FI
Titre (EN) DETERMINING SURFACE AND THICKNESS
(FR) DÉTERMINATION DE SURFACE ET D'ÉPAISSEUR
Abrégé : front page image
(EN)An optical radiation processing unit (112) directs different wavelengths of the optical radiation emitted by an optical source (104) to an object (114) being measured from a direction that differs from the normal (118) of a surface (116) being measured in such a manner that the different wavelengths focus on different heights in the direction of the normal (118) of the surface (116) being measured. A possible polarizer (120, 122) polarizes the reflected radiation in a direction perpendicular to the normal (118) of the surface (116). The optical radiation processing unit (112) directs to a detector (108) polarized optical radiation that it receives from the object (114) being measured. The signal processing unit (124) determines on the basis of a signal provided by the detector (112) from the detected radiation the wavelength on which the intensity of the radiation is the highest, and determines the location of the surface (116) by means of the determined wavelength. When measuring an object (114) from both sides, the thickness of the object (114) being measured is determinable using the locations of the surfaces.
(FR)Une unité de traitement du rayonnement optique (112) oriente les longueurs d'ondes différentes du rayonnement optique émis par une source optique (104) sur un objet (114) mesuré à partir d'une direction qui diffère de la normale (118) d'une surface (116) mesurée de façon à ce que les longueurs d'ondes différentes se focalisent sur des hauteurs différentes en direction de la normale (118) de la surface (116) mesurée. Un polariseur (120, 122) possible polarise le rayonnement réfléchi dans une direction perpendiculaire à la normale (118) de la surface (116). L'unité de traitement du rayonnement optique (112) oriente sur un détecteur (108) le rayonnement optique polarisé qu'il reçoit en provenance de l'objet (114) mesuré. L'unité de traitement du signal (124) détermine sur la base d'un signal délivré par le détecteur (112) à partir du rayonnement détecté la longueur d'onde à laquelle l'intensité du rayonnement est la plus élevée, et détermine l'emplacement de la surface (116) au moyen de la longueur d'onde déterminée. En mesurant un objet (114) des deux côtés, l'épaisseur de l'objet (114) mesuré peut être déterminée en utilisant les emplacements des surfaces.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : finnois (FI)