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1. (WO2008045972) SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE PRÉCURSEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/045972    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/081005
Date de publication : 17.04.2008 Date de dépôt international : 10.10.2007
CIB :
C23C 16/448 (2006.01)
Déposants : ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive, Phoenix, AZ 85034-7200 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : FONDURULIA, Kyle; (US).
SHERO, Eric; (US).
VERGHESE, Mohith, E.; (US).
WHITE, Carl, L.; (US)
Mandataire : DELANEY, Karoline, A.; Knobbe Martens Olson & Bear, LLP, 2040 Main Street, Fourteenth Floor, Irvine, CA 92614 (US)
Données relatives à la priorité :
60/850,886 10.10.2006 US
Titre (EN) PRECURSOR DELIVERY SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE PRÉCURSEUR
Abrégé : front page image
(EN)A precursor source vessel (100) comprises a vessel body (104), a passage (145) within the vessel body (104), and a valve (108, 110, 210) attached to a surface of the body (104). An internal chamber (111) is adapted to contain a chemical reactant, and the passage (145) extends from outside the body (104) to the chamber (111). The valve (108, 110, 210) regulates flow through the passage (145). The vessel (100) has inlet and outlet valves (108, 110), and optionally a vent valve (210) for venting internal gas. An external gas panel (97) can include at least one valve (182) fluidly interposed between the outlet valve (110) and a substrate reaction chamber (162). Gas panel valves (182) can each be positioned along a plane that is generally parallel to, and no more than about 10.0 cm from, a flat surface of the vessel (100). Filters (130) in a vessel Hd (106) or wall filter gas flow through the vessel's valves (108, 110, 210). A quick-connection assembly (102) allows fast and easy connection of the vessel (100) to a gas panel (97).
(FR)La présente invention concerne une cuve de source de précurseur (100) comportant un corps de cuve (104), un passage (145) dans le corps de cuve (104), et une soupape (108, 110, 210) fixée à une surface du corps (104). Une enceinte intérieure (111) est apte à contenir un réactif chimique, et le passage (145) s'étend depuis l'extérieur du corps (104) jusqu'à l'enceinte (111). La soupape (108, 110, 210) assure la régulation de l'écoulement à travers le passage (145). La cuve (100) comprend des soupapes d'admission et d'évacuation (108, 110), et éventuellement une soupape de mise à l'air libre (210) pour la mise à l'air libre de gaz interne. Un panneau de gaz externe (97)peut comprendre au moins une soupape (182) en interposition fluidique entre la soupape d'évacuation (110) et une enceinte de réaction de substrat (162). Des soupapes de panneau de gaz (182) peuvent chacune être disposée selon un plan qui est globalement parallèle à une surface plane de la cuve (100), et à une distance égale ou inférieure à 10,0 cm de celle-ci. Des filtres (130) dans un couvercle de cuve (106) ou un gaz de filtre à paroi circulent via les soupapes de la cuve (108, 110, 210). Un ensemble de raccord rapide (102) permet un raccordement rapide et facile de la cuve (100) au panneau de gaz (97).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)