WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008045146) PROCÉDÉS CONSISTANT À ET APPAREIL POUR ACCÉDER À UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT UTILISANT UN INJECTEUR DE GAZ À DEUX ZONES AVEC ACCÈS OPTIQUE OPTIMISÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/045146    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/013831
Date de publication : 17.04.2008 Date de dépôt international : 12.06.2007
CIB :
H05H 1/00 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
BOGART, Jeff, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
SHARPLESS, Leonard [US/US]; (US) (US Seulement).
SINGH, Harmeet [IN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BOGART, Jeff, A.; (US).
SHARPLESS, Leonard; (US).
SINGH, Harmeet; (US)
Mandataire : PENILLA, Albert, S.; MARTINE PENILLA & GENCARELLA, LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 200, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
11/544,316 06.10.2006 US
Titre (EN) METHODS OF AND APPARATUS FOR ACCESSING A PROCESS CHAMBER USING A DUAL ZONE GAS INJECTOR WTH IMPROVED OPTICAL ACCESS
(FR) PROCÉDÉS CONSISTANT À ET APPAREIL POUR ACCÉDER À UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT UTILISANT UN INJECTEUR DE GAZ À DEUX ZONES AVEC ACCÈS OPTIQUE OPTIMISÉ
Abrégé : front page image
(EN)An injector provides optical access into a process chamber along an axial path from a diagnostic end point outside the process chamber through an optical access window. A hollow housing body receives first and second process gases, and surrounds the axial path. A sleeve in the body is urged against the body to minimize particle generation, and defines a first gas bore injecting the first process gas into the process chamber. A second gas bore of the sleeve surrounds the axial path for injecting the second process gas into the process chamber, allowing an optical signal to have a desired signal-to-noise ratio (SNR) at the end point. Methods provide a septum in the second bore dividing the second bore into apertures configured to reduce etching of and deposition on the optical access window and to maintain the desired SNR at the diagnostic end point.
(FR)La présente invention concerne un injecteur qui fournit un accès optique dans une chambre de traitement le long d'un passage axial à partir d'un point final de diagnostic à l'extérieur de la chambre de traitement à travers une fenêtre d'accès optique. Un corps de logement creux reçoit des premier et second gaz de traitement et entoure le passage axial. Un manchon dans le corps est poussé contre le corps pour minimiser la génération de particules et définit un premier alésage de gaz qui injecte le premier gaz de traitement dans la chambre de traitement. Un second alésage de gaz du manchon entoure le passage axial pour injecter le second gaz de traitement dans la chambre de traitement, permettant à un signal optique d'avoir un rapport signal sur bruit (SNR) souhaité sur le point final. Des procédés fournissent un septum dans le second bore qui divise le second bore en des ouvertures configurées pour réduire l'attaque de et le dépôt sur la fenêtre d'accès optique et pour maintenir le SNR souhaité sur le point final de diagnostic.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)