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1. (WO2008044910) CAPTEUR DE PRESSION ULTRA BASSE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/044910    N° de la demande internationale :    PCT/MY2007/000067
Date de publication : 17.04.2008 Date de dépôt international : 10.10.2007
CIB :
H04R 19/00 (2006.01)
Déposants : MEMS TECHNOLOGY BHD [MY/MY]; 3rd Floor, No. 79 (Room A), Jalan SS 21/60, Damansara Utama, Petaling Jaya 474000, Selangor Darul Ehsan (MY) (Tous Sauf US).
KOK, Kitt-Wai [SG/SG]; (SG) (US Seulement).
ONG, Kok, Meng [MY/SG]; (SG) (US Seulement).
SOORIAKUMAR, Kathirgamasundaram [US/SG]; (SG) (US Seulement).
PATMON, Bryan, Keith [US/SG]; (SG) (US Seulement)
Inventeurs : KOK, Kitt-Wai; (SG).
ONG, Kok, Meng; (SG).
SOORIAKUMAR, Kathirgamasundaram; (SG).
PATMON, Bryan, Keith; (SG)
Mandataire : DREWMARKS PATENTS & DESIGNS (M) SDN. BHD.; 9th Floor, Bangunan Getah Asli (Menara), 148 Jalan Ampang, Kuala Lumpura 50450 (MY)
Données relatives à la priorité :
PI 20064309 11.10.2006 MY
Titre (EN) ULTRA-LOW PRESSURE SENSOR AND METHOD OF FABRICATION OF SAME
(FR) CAPTEUR DE PRESSION ULTRA BASSE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A sensor including: a backplate of electrically conductive or semi-conductive material, the backplate including a plurality of backplate holes; a diaphragm of electrically conductive or semi-conductive material that is connected to, and insulated from the backplate, the diaphragm defining a flexible member and an air gap associated with the flexible member; a bond pad formed on an area of the backplate surrounding the cavity; and a bond pad formed on an area of the diaphragm surrounding the air gap; wherein the flexible member and air gap defined by the diaphragm extend beneath the plurality of backplate holes.
(FR)L'invention concerne un capteur incluant : une platine arrière constituée d'un matériau électriquement conducteur ou semi-conducteur, le platine arrière incluant une pluralité de trous de platine arrière ; une membrane constituée d'un matériau électriquement conducteur ou semi-conducteur, laquelle est reliée à la platine arrière et isolée de celle-ci, la membrane définissant un élément souple et un interstice d'air associé à l'élément souple ; une plage de connexion formée sur une surface de la platine arrière entourant la cavité ; ainsi qu'une plage de connexion formée sur une surface de la membrane entourant l'interstice d'air, l'élément souple et l'interstice d'air, définis par la membrane, s'étendant sous la pluralité de trous de la platine arrière.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)