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1. (WO2008044786) PROCÉDÉ DE DETECTION DE POINT DE FIN D'USINAGE, PROCÉDÉ DE RECTIFICATION, ET RECTIFIEUSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/044786    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/070030
Date de publication : 17.04.2008 Date de dépôt international : 05.10.2007
CIB :
B24B 37/10 (2012.01), B24B 49/10 (2006.01), B24B 49/12 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), B24B 37/013 (2012.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 1448510 (JP) (Tous Sauf US).
Kabushiki Kaisha Toshiba [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP) (Tous Sauf US).
SHIMIZU, Noburu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OHTA, Shinro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MARUYAMA, Koji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOBAYASHI, Yoichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MITANI, Ryuichiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAI, Shunsuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIGETA, Atsushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIMIZU, Noburu; (JP).
OHTA, Shinro; (JP).
MARUYAMA, Koji; (JP).
KOBAYASHI, Yoichi; (JP).
MITANI, Ryuichiro; (JP).
NAKAI, Shunsuke; (JP).
SHIGETA, Atsushi; (JP)
Mandataire : WATANABE, Isamu; GOWA Nishi-Shinjuku 4F 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome Shinjuku-ku Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-274622 06.10.2006 JP
2006-330383 07.12.2006 JP
Titre (EN) MACHINING END POINT DETECTING METHOD, GRINDING METHOD, AND GRINDER
(FR) PROCÉDÉ DE DETECTION DE POINT DE FIN D'USINAGE, PROCÉDÉ DE RECTIFICATION, ET RECTIFIEUSE
(JA) 加工終点検知方法、研磨方法および研磨装置
Abrégé : front page image
(EN)A method for detecting the timing of a machining end point (grinding stop, change of grinding condition) by computing a characteristic value of the surface to be machined of a machining object such as a substrate. A spectral waveform indicating the relation between the reflection intensity and the wavelength at the machining end point is created by using a reference machining object or by performing simulation calculation. According to the spectral waveform, the wavelengths at which the reflection intensity takes on maximum and minimum values are selected. A characteristic value with respect to the surface to be machined is computed from the reflection intensity at the selected wavelength. The feature point of the temporal variation of the characteristic value at the machining end point is set as the machining end point. By detecting the feature point while machining the machining object, the machining end point of the machining object is detected.
(FR)La présente invention concerne un procédé de détection de réglage de la synchronisation d'un point de fin d'usinage (arrêt de rectification, modification de condition de rectification) grâce au calcul d'une valeur caractéristique de la surface à usiner d'un objet d'usinage tel qu'un substrat. Une forme d'onde spectrale indiquant la relation entre l'intensité de réflexion et la longueur d'onde au point de fin d'usinage est créée au moyen d'un objet d'usinage de référence ou par la réalisation d'un calcul de simulation. En fonction de la forme d'onde spectrale, les longueurs d'onde auxquelles l'intensité de réflexion assume des valeurs maximale et minimale sont choisies. Une valeur caractéristique par rapport à la surface à usiner est calculée à partir de l'intensité de réflexion à la longueur d'onde choisie. Le point de paramètre caractéristique de l'intensité temporelle de la valeur caractéristique au point de fin d'usinage est établi comme point de fin d'usinage. Grâce à la détection du point de paramètre caractéristique lors de l'usinage de l'objet d'usinage, le point de fin d'usinage de l'objet d'usinage est détecté.
(JA)本発明は、基板などの加工対象物の被加工面の特性値を算出して、加工終点(研磨停止、研磨条件の変更など)のタイミングを検知する方法に関する。この方法は、基準被加工物を用いて、またはシミュレーション計算により、加工終点における反射強度と波長との関係を示す分光波形を生成し、前記分光波形に基づいて、反射強度の極大値および極小値となる波長を選択し、前記選択された波長における反射強度から被加工面に対する特性値を算出し、加工終点における特性値の時間変化の特徴点を加工終点として設定し、加工対象物の加工中に前記特徴点を検知することにより被加工物の加工終点を検知する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)