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1. (WO2008042572) PROCÉDÉ ET SYSTÈME PERMETTANT DE FACILITER UNE MAINTENANCE PRÉVENTIVE D'UN OUTIL D'INSPECTION OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/042572    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/078349
Date de publication : 10.04.2008 Date de dépôt international : 13.09.2007
CIB :
G03B 27/72 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; Akasaka Biz Tower, 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-6325 (JP) (Tous Sauf US).
DIXON, David [US/US]; (US) (US Seulement).
KINCAID, Michael [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DIXON, David; (US).
KINCAID, Michael; (US)
Mandataire : SACHAR, Surinder; Oblon, Spivak, Mcclelland, Maier & Neustadt, P.c., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
11/529,352 29.09.2006 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR FACILITATING PREVENTIVE MAINTENANCE OF AN OPTICAL INSPECTION TOOL
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME PERMETTANT DE FACILITER UNE MAINTENANCE PRÉVENTIVE D'UN OUTIL D'INSPECTION OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method of determining preventive maintenance for an optical inspection system for inspecting photolithography processed substrates. The method includes measuring at least one operational characteristic of the optical inspection system and comparing a measurement result for said at least one operational characteristic with predetermined preventive maintenance criteria for the operational characteristic. Also included is determining a preventive maintenance requirement based on a comparison result of said comparing, and initiating a preventive maintenance action on said optical inspection system, said preventive maintenance action corresponding to said preventive maintenance requirement. A method of automatically performing preventive maintenance on an optical inspection system, and for retrofitting an optical inspection system to facilitate preventive maintenance of the optical inspection system are also disclosed.
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de déterminer une maintenance préventive pour un système d'inspection optique conçu pour inspecter des substrats traités par photolithographie. Ce procédé consiste à mesurer au moins une caractéristique opérationnelle du système d'inspection optique et à comparer un résultat de mesure pour ladite caractéristique opérationnelle à un critère de maintenance préventive prédéfini pour la caractéristique opérationnelle. Il consiste également à déterminer un besoin de maintenance préventive sur la base d'un résultat de comparaison de l'étape de comparaison, puis à engager une action de maintenance préventive sur le système d'inspection optique, laquelle action de maintenance préventive correspond au besoin de maintenance préventive. Cette invention concerne également un procédé permettant de mettre en oeuvre automatiquement une maintenance préventive sur un système d'inspection optique et d'équiper rétroactivement un système d'inspection optique afin de faciliter une maintenance préventive de celui-ci.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)