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1. (WO2008039940) PROCÉDÉS ET AGENCEMENT POUR CRÉER DES FORMULES EN UTILISANT LES MEILLEURS PROCÉDÉS CONNUS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/039940    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/079770
Date de publication : 03.04.2008 Date de dépôt international : 27.09.2007
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), G06F 19/00 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
HUANG, Chung-Ho [US/US]; (US) (US Seulement).
FAN, Shih-Jeun [US/US]; (US) (US Seulement).
CHANG, Chin-Chuan [US/US]; (US) (US Seulement).
BRIGHT, Nicolas [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HUANG, Chung-Ho; (US).
FAN, Shih-Jeun; (US).
CHANG, Chin-Chuan; (US).
BRIGHT, Nicolas; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; IPSG PC, PO Box 700640, San Jose, California 95170 (US)
Données relatives à la priorité :
11/536,582 28.09.2006 US
Titre (EN) METHODS AND ARRANGEMENT FOR CREATING RECIPES USING BEST-KNOWN METHODS
(FR) PROCÉDÉS ET AGENCEMENT POUR CRÉER DES FORMULES EN UTILISANT LES MEILLEURS PROCÉDÉS CONNUS
Abrégé : front page image
(EN)A method for affecting a creation of a recipe for processing a substrate in a processing system is provided. The method includes providing a best-know method driven recipe editor. The best-known method driven recipe editor incorporates best-known methods (BKMs), which are best practice specifications for the recipe. The method also includes creating a plurality of BKM modules based on the BKMs for the recipe. The method further includes defining rules for parameters in the plurality of BKM modules. The rules are propagated by the BKMs. The methods moreover includes creating a BKM driven recipe by employing the best-known method driven recipe editor to enter values for the parameters within the guidelines of BKM rules.
(FR)L'invention propose un procédé permettant de créer une formule afin de traiter un substrat dans un système de traitement. Le procédé comprend un éditeur de formule fournissant le meilleur procédé connu. Ledit éditeur de formule comporte les meilleurs procédés connus (BKM), soit les spécifications des meilleures pratiques pour la formule. Le procédé comporte aussi la création d'une pluralité de modules de BKM se fondant sur les BKM pour la formule. Le procédé comprend de plus la définition de règles pour des paramètres de la pluralité de modules BKM, lesquelles règles sont propagées par les BKM. Les procédés comprennent également la création d'une formule entraînée par BKM en utilisant l'éditeur de formule sus-mentionné pour entrer les valeurs des paramètres dans les indications des règles de BKM.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)