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1. (WO2008039809) SYSTÈME DE SUIVI DYNAMIQUE DE COMPOSANTS ET PROCÉDÉS POUR CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/039809    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/079471
Date de publication : 03.04.2008 Date de dépôt international : 25.09.2007
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
HUANG, Chung-ho [US/US]; (US) (US Seulement).
JEA, Hae-pyng [US/US]; (US) (US Seulement).
HSU, Tung [US/US]; (US) (US Seulement).
SETO, Jackie [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HUANG, Chung-ho; (US).
JEA, Hae-pyng; (US).
HSU, Tung; (US).
SETO, Jackie; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph A; IPSG PC, PO Box 700640, San Jose, California 95170 (US)
Données relatives à la priorité :
11/537,517 29.09.2006 US
Titre (EN) DYNAMIC COMPONENT-TRACKING SYSTEM AND METHODS THEREFOR
(FR) SYSTÈME DE SUIVI DYNAMIQUE DE COMPOSANTS ET PROCÉDÉS POUR CELUI-CI
Abrégé : front page image
(EN)A computer-implemented method for facilitating plasma processing tool component management across plurality of tools is provided. The method includes receiving first component data for first plurality of components, including identification and usage history, at first database associated with first tool. The method also includes receiving second component data for second plurality of components at second database associated with second tool, which is different from first tool. The method further includes synchronizing first and second component data with third database. The synchronizing includes synchronizing between third database and at least one of first and second database rules that govern usage of at least one component of first and second plurality of components. The third database is coupled to exchange data with plurality of tools. The method yet also includes obtaining information, using rules and usage history data about given component prior to performing one of replacement, analysis, and maintenance.
(FR)L'invention concerne un procédé informatisé pour faciliter la gestion des composants d'outils de traitement au plasma pour une pluralité d'outils. Le procédé comporte la réception de premières données de composants relatives à une première pluralité de composants, dont l'identification et l'historique d'utilisation, par une première base de données associée à un premier outil. Le procédé comporte également la réception de deuxièmes données de composants relatives à une deuxième pluralité de composants par une deuxième base de données associée à un deuxième outil, différent du premier. Le procédé comporte, de plus, la synchronisation des premières et des deuxièmes données de composant avec une troisième base de données. La synchronisation comporte la synchronisation entre les règles d'une troisième base de données et les règles d'au moins la première ou la deuxième base de données qui gouvernent l'utilisation d'au moins un composant de la première et de la deuxième pluralité de composants. La troisième base de données est connectée de façon à pouvoir échanger des données avec une pluralité d'outils. Le procédé comporte aussi l'obtention d'informations, l'utilisation de règles et de données d'historique d'utilisation concernant un composant donné avant d'en effectuer le remplacement, l'analyse ou l'entretien.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)