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1. (WO2008039410) PANNEAU CRYOGENIQUE ISOLE THERMIQUEMENT POUR SYSTEMES DE DEPOT SOUS VIDE

Pub. No.:    WO/2008/039410    International Application No.:    PCT/US2007/020584
Publication Date: 3 avr. 2008 International Filing Date: 24 sept. 2007
IPC: B01D 8/00
Applicants: VEECO INSTRUMENTS INC.
GOTTHOLD, David, William
BRESNAHAN, Richard, Charles
PRIDDY, Scott, Wayne
O'STEEN, Mark, Lee
Inventors: GOTTHOLD, David, William
BRESNAHAN, Richard, Charles
PRIDDY, Scott, Wayne
O'STEEN, Mark, Lee
Title: PANNEAU CRYOGENIQUE ISOLE THERMIQUEMENT POUR SYSTEMES DE DEPOT SOUS VIDE
Abstract:
L'invention concerne des systèmes de dépôt sous vide et des procédés de dépôt associés. L'invention concerne plus particulièrement des systèmes de dépôt sous vide mettant en œuvre au moins un panneau cryogénique pour le pompage localisé d'une zone de dépôt dans laquelle est placé un substrat. La présente invention est particulièrement adaptée au pompage et utile pour réduire au minimum la réévaporation de matériaux de dépôt à pression de vapeur élevée, pendant une épitaxie par faisceaux moléculaires.