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1. (WO2008038940) SOUPAPE D'OPERCULE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/038940    N° de la demande internationale :    PCT/KR2007/004573
Date de publication : 03.04.2008 Date de dépôt international : 20.09.2007
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : ATS ENGINEERING CO., LTD. [KR/KR]; 122-3, Yongsoo-ri, Chowol-eup, Gwangju City, Gyeonggi-do 464-865 (KR) (Tous Sauf US).
KIM, Kyung-Soo [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
ROH, Jae-Min [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
PARK, Jung-Hun [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : KIM, Kyung-Soo; (KR).
ROH, Jae-Min; (KR).
PARK, Jung-Hun; (KR)
Mandataire : KIM, Inhan; Room 901, Doorea Bldg, 24, Yeouido-dong, Yeongdeungpo-gu, Seoul 150-877 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2006-0094255 27.09.2006 KR
10-2007-0089917 05.09.2007 KR
Titre (EN) GATE VALVE
(FR) SOUPAPE D'OPERCULE
Abrégé : front page image
(EN)A gate valve is provided to regulate loading and unloading of a substrate. The gate valve comprises: a bracket, which surrounds a gate installed in a vacuum chamber, and includes guide rails installed vertically on opposite sides of the gate; a pressing member, which includes a fixing plate moving up and down along the guide rails, a least one shaft pin interconnecting the fixing plate and a sealing plate, and a tube installed between the shaft pins inside the fixing plate and forcing the sealing plate to regulate the gate using expansion force; a cylinder, which is installed on one side of the bracket, and raises and lowers the pressing member; and a guide member, which interconnects opposite ends of the pressing member, and enables the opposite ends of the pressing member to perform synchronous operation when the pressing member is raised and lowered by the cylinder.
(FR)Cette invention concerne une soupape d'opercule conçue pour réguler la charge et la décharge d'un substrat. La soupape d'opercule comprend: un support qui entoure un opercule placé dans une chambre sous vide et qui comprend des rails de guidage disposés verticalement sur les côtés opposés de l'opercule; un élément de pressage qui comprend une plaque de fixation mobile de haut en bas le long des rails de guidage, au moins un tenon de tige reliant la plaque de fixation et une plaque d'étanchéité, et un tube installé entre les tenons de tige à l'intérieur de la plaque de fixation et pressant la plaque d'étanchéité de manière à permettre la régulation de l'opercule au moyen d'une force d'expansion; un cylindre qui est installé sur un côté du support et qui relève et abaisse l'élément de pressage; et un élément de guidage qui relie les extrémités opposées de l'élément de pressage et qui permet aux extrémités opposées de l'élément de pressage d'exécuter une opération synchrone lorsque l'élément de pressage est relevé et abaissé par le cylindre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)