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1. (WO2008037131) SYSTÈME DE COMMUTATION ET DE POSITIONNEMENT COMPORTANT DEUX PORTE-OBJETS.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/037131    N° de la demande internationale :    PCT/CN2006/003270
Date de publication : 03.04.2008 Date de dépôt international : 04.12.2006
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; No. 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park, Shanghai 201203 (CN) (Tous Sauf US).
LI, Xiaoping [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
LI, Yingsheng [CN/CN]; (CN) (US Seulement)
Inventeurs : LI, Xiaoping; (CN).
LI, Yingsheng; (CN)
Mandataire : SHANGHAI ZHI XIN PATENT AGENT LTD.; 26/F, Zhijun Building, 1223 Xie Tu Rd., Shanghai 200032 (CN)
Données relatives à la priorité :
200610116453.6 22.09.2006 CN
Titre (EN) DUAL STAGE POSITIONING AND SWITCHING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE COMMUTATION ET DE POSITIONNEMENT COMPORTANT DEUX PORTE-OBJETS.
Abrégé : front page image
(EN)A dual stage positioning and switching system comprises at least a base, a first object stage positioning unit disposed on the base for a first workstation, and a second object stage positioning unit for a second workstation. Each of the object stage positioning units comprises at least a supporting structure, an X-direction guide bar, a Y-direction guide bar, and a motion positioning detector, wherein, the supporting structure comprises an object stage, and an object stage connector moving relative to the object stage. The object stage positioning unit further comprises a driver connecting to the object stage connector and driving the connector to move along the X-direction guide bar. The X-direction guide bar is positioned on and movable along the Y-direction guide bar. The system further comprises an object stage connector for transitional use during the switching process, which is positioned at the center of the Y-direction guide bar located on one of the base.
(FR)L'invention concerne un système de positionnement et de commutation comportant deux porte-objets. Ce système comprend au moins une base; une première unité de positionnement de porte-objet montée sur la base, destinée à un premier poste de travail; et une seconde unité de positionnement de porte-objet destinée à un second poste de travail. Chaque unité de positionnement de porte-objet comprend au moins une structure de support, une barre de guidage de direction X, une barre de guidage de direction Y, et un détecteur de positionnement et de déplacement. La structure de support comprend un porte-objet, un connecteur de porte-objet se déplaçant par rapport au porte-objet. L'unité de positionnement de porte-objet comprend également un pilote relié au connecteur de porte-objet pilotant le connecteur pour que ce dernier se déplace le long de la barre de guidage de direction X. La barre de guidage de direction X est positionnée sur la barre de guidage de direction Y et se déplace le long de cette dernière. Le système de l'invention comprend également un connecteur de porte-objet à utiliser de manière transitoire pendant le processus de commutation. Ce système est positionné au centre de la barre de guidage de direction Y située sur l'une des bases.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)