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1. (WO2008024388) RÉCIPIENT POUR SUBSTRAT AVEC STRUCTURE DE COUPLAGE CINÉMATIQUE EXTÉRIEURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/024388    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/018550
Date de publication : 28.02.2008 Date de dépôt international : 22.08.2007
CIB :
B65D 85/20 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard, Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
FULLER, Matthew, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
BURNS, John [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : FULLER, Matthew, A.; (US).
BURNS, John; (US)
Mandataire : THORSON, Bradley, J.; Patterson, Thuente. Skaar & Christensen, P.A., 4800 IDS Center, 80 South Eighth Street, Minneapolis, MN 55402-2100 (US)
Données relatives à la priorité :
60/839,397 22.08.2006 US
Titre (EN) SUBSTRATE CONTAINER WITH OUTBOARD KINEMATIC COUPLING STRUCTURE
(FR) RÉCIPIENT POUR SUBSTRAT AVEC STRUCTURE DE COUPLAGE CINÉMATIQUE EXTÉRIEURE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate container having a set of kinematic coupling grooves defined in the periphery of a horizontally extending skirt portion around the periphery of the container portion. This set of kinematic coupling grooves, being located outside the periphery of the container portion, enables the container to be positioned relatively closer to the Horizontal Datum Plane of wafer processing equipment. This can provide vertical space conservation along with greater stability than provided by the conventional location of kinematic coupling grooves. The container may also include a set of conventionally located kinematic coupling grooves.
(FR)L'invention concerne un récipient pour substrat comportant un ensemble de rainures de couplage cinématique défini à la périphérie d'une partie formant jupe s'étendant horizontalement sur la périphérie de la partie formant récipient. Cet ensemble de rainures de couplage cinématique, situé à l'extérieur de la périphérie de la partie formant récipient, permet de positionner le récipient relativement plus près du plan de référence horizontal du matériel de traitement de tranches. L'invention fournit un moyen de conservation dans un espace vertical, ainsi qu'une stabilité supérieure à celle que procure une disposition conventionnelle des rainures de couplage cinématique. Le récipient peut également comprendre un ensemble de rainures de couplage cinématique disposées de manière conventionnelle.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)