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1. (WO2008022029) SAS DE CHARGEMENT AVEC CHAUFFAGE DANS LE TUBE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/022029    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/075699
Date de publication : 21.02.2008 Date de dépôt international : 10.08.2007
CIB :
F26B 3/30 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
ANWAR, Suhail [US/US]; (US) (US Seulement).
LEE, Jae-chull [US/US]; (US) (US Seulement).
KURITA, Shinichi [JP/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ANWAR, Suhail; (US).
LEE, Jae-chull; (US).
KURITA, Shinichi; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056-6582 (US)
Données relatives à la priorité :
60/822,378 14.08.2006 US
11/782,290 24.07.2007 US
Titre (EN) LOAD LOCK CHAMBER WITH HEATER IN TUBE
(FR) SAS DE CHARGEMENT AVEC CHAUFFAGE DANS LE TUBE
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the invention include a heated load lock chamber. In one embodiment, a heated load lock chamber includes a chamber body having a plurality of lamp assembles disposed at least partially therein. Each lamp assembly includes a transmissive tube housing a lamp. The transmissive tube extends into the chamber body and provides a pressure barrier isolating the lamp from the interior volume of the load lock chamber. In another embodiment, an open end of the transmissive tube extends through a sidewall of the chamber body. A closed end of the transmissive tube is surrounded by the interior volume of the chamber body and is supported below a top of the chamber body in a spaced apart relation. The open end of the tube is sealed to the sidewall of the chamber body such that the interior of the tube is open to atmosphere.
(FR)L'invention concerne un sas de chargement chauffé. Selon un mode de réalisation, un sas de chargement chauffé comprend un corps de sas comportant une pluralité d'ensembles lampes disposés au moins partiellement à l'intérieur. Chaque ensemble lampe comprend un tube de transmission logeant une lampe. Le tube de transmission s'étend dans le corps de sas et fournit une barrière de pression, isolant la lampe du volume intérieur du sas de chargement. Selon un autre mode de réalisation, une extrémité ouverte du tube de transmission s'étend au travers d'une paroi latérale du corps de sas. Une extrémité fermée du tube de transmission est entourée par le volume intérieur du corps de sas et est supporté sous un sommet du corps de sas dans une relation d'espacement. L'extrémité ouverte du tube est scellée à la paroi latérale du corps de sas de manière à ce que l'intérieur du tube soit ouvert vers l'atmosphère.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)