WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008021340) BRAS À BALAYAGE DE MAINTIEN DE PIÈCE POUR SYSTÈME D'IMPLANTATION IONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/021340    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/017942
Date de publication : 21.02.2008 Date de dépôt international : 13.08.2007
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 108 Cherry Hill Drive, Beverly, Massachusetts 01915 (US) (Tous Sauf US).
EIRIKSSON, Ari [IS/US]; (US) (US Seulement).
BECKEL, Donovan [US/US]; (US) (Tous Sauf US).
MITCHELL, Robert [US/US]; (US) (US Seulement).
PHARAND, Michel [CA/US]; (US) (US Seulement).
LAFONTAINE, Marvin [US/US]; (US) (US Seulement).
PUROHIT, Ashwin [US/US]; (US) (US Seulement).
WEED, Steve [US/US]; (US) (US Seulement).
ARSENAULT, Wayne [US/US]; (US) (US Seulement).
PATHAK, Shantanu [IN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : EIRIKSSON, Ari; (US).
MITCHELL, Robert; (US).
PHARAND, Michel; (US).
LAFONTAINE, Marvin; (US).
PUROHIT, Ashwin; (US).
WEED, Steve; (US).
ARSENAULT, Wayne; (US).
PATHAK, Shantanu; (US)
Données relatives à la priorité :
60/838,407 17.08.2006 US
Titre (EN) WORKPIECE HANDLING SCAN ARM FOR ION IMPLANTATION SYSTEM
(FR) BRAS À BALAYAGE DE MAINTIEN DE PIÈCE POUR SYSTÈME D'IMPLANTATION IONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An ion implantation apparatus, system, and method are provided for connecting and disconnecting a workpiece holder from a scan arm. A twist head is provided, wherein an electrostatic chuck is operable to be mounted, wherein one or more rotating and non-rotating members associated with one or more of the twist head and electrostatic chuck have one or more dynamic fluid seals associated therewith. The electrostatic chuck is further operable to be removed from the twist head without disconnecting the one or more dynamic fluid seals.
(FR)Appareil d'implantation ionique, système et procédé pour connecter et déconnecter un porte pièce d'un bras à balayage. Une tête de torsion est prévue, sur laquelle un mandrin électrostatique peut être monté, un ou plusieurs éléments rotatifs et non rotatifs associés avec la tête de torsion et/ou le mandrin électrostatique étant associés à un ou plusieurs joints de fluide dynamiques. Le mandrin électrostatique peut être retiré de la tête de torsion sans déconnecter lesdits joints de fluide dynamiques.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)