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1. (WO2008021291) POLYMÈRES FLUORÉS POUR EMPLOI EN LITHOGRAPHIE PAR IMMERSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/021291    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/017869
Date de publication : 21.02.2008 Date de dépôt international : 14.08.2007
CIB :
G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY [US/US]; 1007 Market Street, Wilmington, Delaware 19898 (US) (Tous Sauf US).
FARNHAM, William, Brown [US/US]; (US) (US Seulement).
MOUDGIL, Suniti [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : FARNHAM, William, Brown; (US).
MOUDGIL, Suniti; (US)
Mandataire : KAEDING, Konrad, S.; E. I. du Pont de Nemours and Company, Legal Patent Records Center, 4417 Lancaster Pike, Wilmington, Delaware 19805 (US)
Données relatives à la priorité :
60/837,533 14.08.2006 US
Titre (EN) FLUORINATED POLYMERS FOR USE IN IMMERSION LITHOGRAPHY
(FR) POLYMÈRES FLUORÉS POUR EMPLOI EN LITHOGRAPHIE PAR IMMERSION
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to partially fluorinated (meth)acrylic polymers that can be blended with other (meth)acrylic polymers to provide enhanced surface properties.
(FR)La présente invention concerne des polymères acryliques ou méthacryliques partiellement fluorés qui peuvent être mélangés à d'autres polymères acryliques ou méthacryliques pour obtenir des propriétés de surface améliorées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)