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1. (WO2008019076) ENCEINTE DE SUPPORT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/019076    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/017360
Date de publication : 14.02.2008 Date de dépôt international : 03.08.2007
CIB :
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY [US/US]; 1007 Market Street, Wilmington, Delaware 19898 (US) (Tous Sauf US).
LANG, Charles, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
PERROTTO, Joseph, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
DALY, Thomas, P. [US/US]; (US) (US Seulement).
TILTON, James, N. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LANG, Charles, D.; (US).
PERROTTO, Joseph, A.; (US).
DALY, Thomas, P.; (US).
TILTON, James, N.; (US)
Mandataire : LAMMING, John, H.; E. I. du Pont de Nemours and Company, Legal Patent Records Center, 4417 Lancaster Pike, Wilmington, Delaware 19805 (US)
Données relatives à la priorité :
60/835,583 04.08.2006 US
Titre (EN) SUBSTRATE CARRIER ENCLOSURE
(FR) ENCEINTE DE SUPPORT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)There is provided a portable substrate carrier enclosure. The carrier enclosure has a carrier support; a displaceable cover; spacers between the support and cover; a gas inlet; and a removable lid. There is also provided an assembly and a process for depositing an air-sensitive material onto a substrate using the portable substrate carrier enclosure.
(FR)L'invention concerne une enceinte de support de substrat portable. L'enceinte de support a un porte-support ; un capot déplaçable ; des cales d'espacement entre le porte-support et le capot ; une admission de gaz ; et un couvercle amovible. L'invention concerne également un ensemble et un processus permettant de déposer un matériau sensible à l'air sur un substrat en utilisant l'enceinte de support de substrat portable.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)