WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008014040) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DE SUBSTRATS AVEC ISOLATION DE PROCESSUS APPROXIMATIVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/014040    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/068807
Date de publication : 31.01.2008 Date de dépôt international : 11.05.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.06.2008    
CIB :
C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Road P.O. Box 50839 Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
PERATA, Michael, Robert [US/US]; (US) (US Seulement).
STRAHLENDORF, Michael, Lee [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PERATA, Michael, Robert; (US).
STRAHLENDORF, Michael, Lee; (US)
Mandataire : DE RUNTZ, K., Alison; Davis Wright Tremaine LLP, 505 Montgomery Street, Suite 800, San Francisco, CA 94111 (US)
Données relatives à la priorité :
11/382,241 08.05.2006 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR COATING SUBSTRATES WITH APPROXIMATE PROCESS ISOLATION
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DE SUBSTRATS AVEC ISOLATION DE PROCESSUS APPROXIMATIVE
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for coating a substrate may comprise two process compartments that flank a pump compartment. The pump compartment is in operable communication with the two process compartments and a pathway for pumping gas therefrom via pumps, and is sufficient for approximately isolating the gas associated with the one process compartment and the gas associated with the other process compartment relative to one another in association with a substrate coating process. The pump compartment may be so sufficient when the pathway length is less than two times the path length associated with one process compartment, the path length associated with the other process compartment, or the average of the two path lengths. Apparatus for pumping gas associated with a substrate coating process and methods associated with coating a substrate or pumping gas are also provided.
(FR)L'invention concerne un appareil de revêtement d'un substrat pouvant comprendre deux compartiments de traitement qui flanquent un compartiment de pompage. Le compartiment de pompage est en communication fonctionnelle avec les deux compartiments de traitement et un chemin de pompage de gaz à partir desdits compartiments par l'intermédiaire de pompes. Ledit compartiment de pompage est également suffisant pour isoler approximativement le gaz associé à un compartiment de traitement et le gaz associé à l'autre compartiment de traitement l'un par rapport à l'autre en association avec un processus de revêtement de substrat. Le compartiment de pompage peut ainsi être suffisant lorsque la longueur du chemin est inférieure à deux fois la longueur du chemin associée à un compartiment de traitement, la longueur du chemin associée à l'autre compartiment de traitement, ou la moyenne des deux longueurs de chemins. L'invention concerne également un appareil de pompage de gaz associé à un processus de revêtement de substrat et des procédés associés au revêtement d'un substrat ou au pompage de gaz.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)