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1. (WO2008013706) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR CONDITIONNER UN FLUIDE D'IMMERSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/013706    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/016232
Date de publication : 31.01.2008 Date de dépôt international : 18.07.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    21.05.2008    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard, Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
PAREKH, Bipin, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
XIA, Annie [US/US]; (US) (US Seulement).
CLARKE, Michael [US/US]; (US) (US Seulement).
SMITH, Joseph, E. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PAREKH, Bipin, S.; (US).
XIA, Annie; (US).
CLARKE, Michael; (US).
SMITH, Joseph, E.; (US)
Mandataire : CARROLL, Alice, O.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C., 530 Virginia Road, P.O. Box 9133, Concord, MA 01742-9133 (US)
Données relatives à la priorité :
60/832,472 21.07.2006 US
60/931,275 21.05.2007 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR CONDITIONING AN IMMERSION FLUID
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR CONDITIONNER UN FLUIDE D'IMMERSION
Abrégé : front page image
(EN)The present invention includes apparatus and methods for producing a conditioned immersion fluid for use in an immersion lithography process. The conditioned immersion fluid protects the immersion system lens and reduces or eliminates deposition of contaminants onto the lens that can adversely affect the lens transmission and durability of an immersion lithography system.
(FR)La présente invention comprend un appareil et des procédés pour produire un fluide d'immersion conditionné pour utilisation dans un processus de lithographie par immersion. Le fluide d'immersion conditionné protège la lentille du système d'immersion et réduit ou élimine le dépôt de contaminants sur la lentille qui peuvent affecter défavorablement la transmission de lentille et la durée d'un système de lithographie par immersion.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)