WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008013268) microscope sonde du type à balayage et son procédé de mesure des positions relatives de la sonde
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/013268    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/064773
Date de publication : 31.01.2008 Date de dépôt international : 27.07.2007
CIB :
G01Q 10/06 (2010.01), G01Q 30/04 (2010.01)
Déposants : National Institute for Materials Science [JP/JP]; 2-1, Sengen 1-chome, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050047 (JP) (Tous Sauf US).
HORIBA, Ltd. [JP/JP]; 2, Miyanohigashi-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-city Kyoto 6018510 (JP) (Tous Sauf US).
NAKAYAMA, Tomonobu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIGUCHI, Seiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKAYAMA, Tomonobu; (JP).
HIGUCHI, Seiji; (JP)
Mandataire : NISHIMURA, Ryuhei; 3F, Karasumanijyo Bldg. 267, Makieya-cho Nijyo-agaru, Karasuma-dori, Nakagyo-ku Kyoto-city Kyoto 6040857 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-207230 28.07.2006 JP
Titre (EN) SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE, AND ITS PROBE RELATIVE-POSITION MEASURING METHOD
(FR) microscope sonde du type à balayage et son procédé de mesure des positions relatives de la sonde
(JA) 走査型プローブ顕微鏡及びその探針相対位置測定方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a scanning type probe microscope capable of recognizing the relative positions of a plurality of probes precisely. The probe microscope comprises a plurality of probes (21, 22, 23, 24) made movable in XYZ-directions, a stage (3) carrying a specimen (W) and made movable in the XY-directions, a detecting unit (6) for detecting such physical properties, when the individual probes (21, 22, 23, 24) or the stage (3) is moved in the XY-directions, as are changed by the movements of the individual probes (21, 22, 23, 24) in the Z-direction according to the surface shape of the specimen (W), an image forming unit (73) for forming the surface image of the specimen in response to the detection signals of the detecting unit (6), and a relative position calculating unit (75) for acquiring the surface images based on the individual probes and obtained by the image forming unit (73), when the stage (3) is moved in the XY-directions without changing the relative positions of the individual probes in the XY-directions, collates those individual images, and calculates the relative positions of the individual probes.
(FR)La présente invention concerne un microscope sonde du type à balayage pouvant reconnaître les positions relatives d'une pluralité de sondes de manière précise. Ledit microscope comprend une pluralité de sondes (21, 22, 23, 24) rendues mobiles dans les directions XYZ, un étage (3) portant une éprouvette (W) et rendu mobile dans les directions XY, une unité de détection (6) destinée à détecter des propriétés physiques, lorsque les sondes individuelles (21, 22, 23, 24) ou l'étage (3) sont déplacés dans les directions XY, qui sont changées par les mouvements des sondes individuelles (21, 22, 23, 24) dans la direction Z en fonction de la forme de surface de l'éprouvette (W), une unité de formation d'images (73) destinée à former l'image de surface de l'éprouvette en réponse aux signaux de détection de l'unité de détection (6), et une unité de calcul de positions relatives (75) destinée à obtenir les images de surface sur la base des sondes individuelles et obtenues par ladite unité (73), lorsque l'étage (3) est déplacé dans les directions XY sans changer les positions relatives des sondes individuelles dans les directions XY, qu'il rassemble ces images individuelles et calcule les positions relatives des sondes individuelles.
(JA) 本発明の主目的は、複数の探針間の相対位置を正確に認識できる走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。そのために、XYZ方向に移動可能である複数の探針21、22、23、24と、前記試料Wが載置されXY方向に移動可能であるステージ3と、前記各探針21、22、23、24又は前記ステージ3をXY方向に移動したときに、前記試料Wの表面形状に伴う前記各探針21、22、23、24のZ方向への移動により変化する物理量を検出する検出部6と、前記検出部6からの検出信号を受け付けて、前記試料の表面画像を生成する画像生成部73と、前記各探針間のXY方向の相対位置を変化させずに、前記ステージ3をXY方向に移動させたときに、前記画像生成部73により得られた各探針に基づく表面画像を取得し、それら各画像を照合して、前記各探針間の相対位置を算出する相対位置算出部75と、を具備させた。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)