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1. (WO2008013237) PROCÉDÉ POUR CONSTITUER UN FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT

Pub. No.:    WO/2008/013237    International Application No.:    PCT/JP2007/064704
Publication Date: 31 janv. 2008 International Filing Date: 26 juil. 2007
IPC: C23C 14/08
C23C 14/34
C23C 14/58
H01B 13/00
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
TAKAHASHI, Hirohisa
高橋 明久
UKISHIMA, Sadayuki
浮島 禎之
OTA, Atsushi
太田 淳
TANI, Noriaki
谷 典明
ISHIBASHI, Satoru
石橋 暁
Inventors: TAKAHASHI, Hirohisa
高橋 明久
UKISHIMA, Sadayuki
浮島 禎之
OTA, Atsushi
太田 淳
TANI, Noriaki
谷 典明
ISHIBASHI, Satoru
石橋 暁
Title: PROCÉDÉ POUR CONSTITUER UN FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT
Abstract:
L'invention concerne un film conducteur transparent présentant une faible résistivité. L'invention concerne de manière spécifique un procédé pour constituer un film, selon lequel on constitue d'abord un film conducteur transparent sur la surface d'un substrat (21) en pulvérisant une matière cible (11), qui est principalement composée de ZnO auquel on a ajouté del'Al2O3 et du TiO2, sous vide, puis on effectue un traitement de recuit sur le film conducteur transparent en faisant chauffer le film à une température qui n'est pas inférieure à 250 ˚C mais qui n'est pas supérieure à 400 ˚C. Le film conducteur transparent ainsi obtenu présente une résistivité réduite, puisqu'il est principalement composé de ZnO, auquel on a rajouté de l'Al et du Ti. Le film conducteur transparent ainsi constitué est adapté pour être utilisé en tant qu'électrode transparente, tel qu'un afficheur plat ou similaire.