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1. (WO2008011903) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR TRAITER UNE TRANCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/011903    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/007497
Date de publication : 31.01.2008 Date de dépôt international : 28.07.2006
CIB :
H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : AVAGO TECHNOLOGIES WIRELESS IP (SINGAPORE) PTE. LTD. [SG/SG]; No. 1 Yishun Avenue 7, Singapore 768923 (SG) (Tous Sauf US).
AIGNER, Robert [AT/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : AIGNER, Robert; (DE)
Mandataire : DILG, Andreas; Dilg, Häusler, Schindelmann, Patentanwaltsgesellschaft mbH, Nussbaumstr. 6, 80336 München (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING A WAFER
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR TRAITER UNE TRANCHE
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for processing a processing surface 100 of a wafer 105 by means of a processing-beam 200 comprises a means for moving the wafer 105 and the processing-beam 200 relative to each other so that the processing-beam 200 scans the processing surface 100 of the wafer 105 in a scanning path 110 having a curved course with continuously or stepwise changing radiuses.
(FR)La présente invention concerne un appareil pour traiter une surface de traitement (100) d'une tranche (105) au moyen d'un faisceau de traitement (200) qui comprend un moyen pour déplacer la tranche (105) et le faisceau de traitement (200) l'un par rapport à l'autre de sorte que le faisceau de traitement (200) balaye la surface de traitement (100) de la tranche (105) dans un trajet de balayage (110) qui possède une course incurvée avec des rayons qui changent en continu or progressivement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)