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1. (WO2008010887) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE CONSERVATION DES CAPACITÉS D'ÉMISSION DE CATHODES CHAUDES DANS DES MILIEUX SÉVÈRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/010887    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/014130
Date de publication : 24.01.2008 Date de dépôt international : 18.06.2007
CIB :
H01J 41/04 (2006.01)
Déposants : BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive, Chelmsford, MA 01824 (US) (Tous Sauf US).
CARMICHAEL, Larry, K. [US/US]; (US) (US Seulement).
BORENSTEIN, Michael, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
ARNOLD, Paul, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
BLOUCH, Stephen, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
KNOTT, Richard, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CARMICHAEL, Larry, K.; (US).
BORENSTEIN, Michael, D.; (US).
ARNOLD, Paul, C.; (US).
BLOUCH, Stephen, C.; (US).
KNOTT, Richard, A.; (US)
Mandataire : SMITH, James, M.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C., 530 Virginia Road, P.O. Box 9133, Concord, MA 01742-9133 (US)
Données relatives à la priorité :
11/488,457 18.07.2006 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MAINTAINING EMISSION CAPABILITIES OF HOT CATHODES IN HARSH ENVIRONMENTS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE CONSERVATION DES CAPACITÉS D'ÉMISSION DE CATHODES CHAUDES DANS DES MILIEUX SÉVÈRES
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for operating a multi-hot-cathode ionization gauge is provided to increase the operational lifetime of the ionization gauge in gaseous process environments. In example embodiments, the life of a spare cathode is extended by heating the spare cathode to a temperature that is insufficient to emit electrons but that is sufficient to decrease the amount of material that deposits on its surface or is optimized to decrease the chemical interaction between a process gas and a material of the at least one spare cathode. The spare cathode may be constantly or periodically heated. In other embodiments, after a process pressure passes a given pressure threshold, plural cathodes may be heated to a non-emitting temperature, plural cathodes may be heated to a lower emitting temperature, or an emitting cathode may be heated to a temperature that decreases the electron emission current.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de faire fonctionner une jauge à ionisation à cathode multiple chaude pour accroître la durée de vie fonctionnelle de ladite jauge dans des milieux de traitement gazeux. Dans des modes de réalisation, à titre d'exemple, on prolonge la durée de vie d'une cathode de rechange en chauffant ladite cathode de rechange à une température insuffisante pour émettre des électrons, mais suffisante pour diminuer la quantité de matière se déposant sur sa surface ou optimisée pour diminuer l'interaction chimique entre un gaz de traitement et une matière des cathodes de rechange. On peut chauffer constamment ou périodiquement la cathode de rechange. Dans d'autres modes de réalisation, une fois qu'une pression de traitement dépasse un seuil de pression donné, on peut chauffer plusieurs cathodes à une température non émettrice, plusieurs cathodes à une température à faible émission, ou une cathode émettrice à une température qui diminue le courant d'émission d'électrons.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)