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1. (WO2008010777) MICROSCOPE MULTIFAISCEAU À SPECTRES D'IONS/ÉLECTRONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/010777    N° de la demande internationale :    PCT/SG2007/000218
Date de publication : 24.01.2008 Date de dépôt international : 20.07.2007
CIB :
H01J 37/26 (2006.01), G01N 23/22 (2006.01), H01J 49/00 (2006.01)
Déposants : NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE [SG/SG]; 21 Lower Kent Ridge Road, Singapore 119077 (SG) (Tous Sauf US).
KHURSHEED, Anjam [GB/GB]; (SG) (US Seulement)
Inventeurs : KHURSHEED, Anjam; (SG)
Mandataire : LEE, Ai Ming; Rodyk & Davidson LLP, 80 Raffles Place, #33-00 UOB Plaza I, Singapore 048624 (SG)
Données relatives à la priorité :
60/832,640 21.07.2006 US
Titre (EN) A MULTI-BEAM ION/ELECTRON SPECTRA-MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE MULTIFAISCEAU À SPECTRES D'IONS/ÉLECTRONS
Abrégé : front page image
(EN)This invention is a multi-beam charged particle instrument that can simultaneously focus electrons and a variety of positive and negative ions, such as Gallium, Oxygen and Cesium ions, onto the same material target. In addition, the instrument has provision to simultaneously capture the spectrum of both secondary electrons and ions. The highly dispersive, high resolution mass spectrometer portion of the instrument is expected to detect and identify secondary ion species across the entire range of the periodic table, and also record a portion of their emitted energy spectrum. The electron energy spectrometer part of the instrument is designed to acquire the entire range of scattered electrons, from the low energy secondary electrons through to the elastic backscattered electrons.
(FR)Instrument multifaisceau à particules chargées capable de focaliser simultanément des électrons et plusieurs types d'ions positifs et négatifs, tels que des ions de gallium, d'oxygène et de césium, sur un même matériau cible. L'instrument est également capable de capter simultanément le spectre d'électrons et d'ions secondaires. Il comprend une partie de spectrométrie de masse à forte dispersion et à haute résolution susceptible de détecter et d'identifier des espèces d'ions secondaires sur toute l'étendue du tableau périodique, et d'enregistrer une partie du spectre énergétique qu'elles émettent; ainsi qu'une partie de spectrométrie d'énergie électronique conçue pour acquérir l'ensemble des électrons diffusés, depuis les électrons secondaires à faible énergie jusqu'aux électrons à rétrodiffusion élastique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)