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1. (WO2008010270) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT FONCTIONNEL, SUBSTRAT FONCTIONNEL ET DISPOSITIF DE SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/010270    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/314269
Date de publication : 24.01.2008 Date de dépôt international : 19.07.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.05.2008    
CIB :
C22C 1/10 (2006.01), C23C 24/04 (2006.01), H01L 23/373 (2006.01)
Déposants : NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 2-39-1, Kurokami, Kumamoto-shi, Kumamoto 8608555 (JP) (Tous Sauf US).
ITOH, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TORII, Shuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TOHGE, Mutsumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HOKAMOTO, Kazuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ITOH, Shigeru; (JP).
TORII, Shuichi; (JP).
TOHGE, Mutsumi; (JP).
HOKAMOTO, Kazuyuki; (JP)
Mandataire : FUJISHIMA, Youichiro; 2F, Oodai Building 9-5, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PROCESS FOR PRODUCING FUNCTIONAL SUBSTRATE, FUNCTIONAL SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT FONCTIONNEL, SUBSTRAT FONCTIONNEL ET DISPOSITIF DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 機能性基板の製造方法および機能性基板、並びに半導体装置
Abrégé : front page image
(EN)A process for producing a functional substrate, in which particles of functional material are implanted in a substrate through simple operation to thereby form a functional region. Diamond powder (21A) is disposed on substrate (10A) of aluminum, etc., covered by protective material (30), and sealed. The resultant substrate together with explosive (41) is disposed in water (W), and by explosion of the explosive (41), shock waves (SW) are applied thereto. The diamond powder (21A) gains high speed and effects collision with/pass through the substrate (10A). Thus, the diamond powder (21A) is implanted in at least part of the thickness direction from the surface of the substrate (10A), thereby forming a functional region. The thus obtained functional substrate is suitable for use as a radiator member, etc. The distribution of diamond particle content in the functional region can be regulated. For example, by gradually decreasing the same along the thickness direction from the surface of the substrate (10A), there can be realized a nonequilibrium functional region whose production by conventional processes utilizing high temperature, such as casting and powder mixing, has been extremely difficult.
(FR)La présente invention concerne un procédé, permettant de produire un substrat fonctionnel, au cours duquel les particules de matériau fonctionnel sont implantées dans un substrat à l'aide d'une opération simple en vue de former une zone fonctionnelle. Une poudre de diamant (21A) est disposée sur un substrat (10A) en aluminium, etc., couvert d'un matériau protecteur (30), et scellée. Le substrat ainsi obtenu est placé dans l'eau (W) avec un explosif (41) et les ondes de choc (SW), produites par l'explosion de l'explosif (41), s'appliquent sur le substrat. La poudre de diamant (21A) gagne une vitesse élevée et entre en collision avec/traverse le substrat (10A). La poudre de diamant (21A) est alors implantée dans une partie au moins de la direction de l'épaisseur depuis la surface du substrat (10A), ce qui permet de former une zone fonctionnelle. Le substrat fonctionnel ainsi obtenu peut servir d'élément de radiateur, entre autres. La distribution du contenu de la particule de diamant dans la zone fonctionnelle peut être régulée. La décroissance progressive de la distribution le long de la direction de l'épaisseur depuis la surface du substrat (10A) permet, par exemple, d'obtenir une zone fonctionnelle non équilibrée dont la production par un procédé classique employant une température élevée, tels un moulage et un mélange de poudre, se révèle très difficile.
(JA) 簡単な工程で基板に機能性材料の粒子を埋め込み、機能領域を形成することができる機能性基板の製造方法を提供する。アルミニウム等よりなる基板(10A)の上にダイヤモンド粉末(21A)を配置し、保護材(30)で覆って封止する。これを爆薬(41)と共に水(W)中に設置し、爆薬(41)の爆発により衝撃波(SW)を与える。ダイヤモンド粉末(21A)は高速に加速されて基板(10A)に衝突・貫通し、基板(10A)の表面から厚み方向の少なくとも一部に埋め込まれ、機能領域が形成される。得られた機能性基板は放熱部材などとして好適である。機能領域におけるダイヤモンド粒子の含有量の分布は調整可能であり、例えば、基板(10A)の表面から厚み方向に向かって次第に減少させれば、従来の鋳造や粉末どうしの混合などの高温を利用した製造方法では極めて困難であった非平衡な機能領域が実現される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)