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1. (WO2008009892) SOURCES DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/009892    N° de la demande internationale :    PCT/GB2007/002550
Date de publication : 24.01.2008 Date de dépôt international : 06.07.2007
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : AVIZA TECHNOLOGY LIMITED [GB/GB]; Coed Rhedyn, Ringland Way, Newport, Gwent NP18 2TA (GB) (Tous Sauf US).
PROUDFOOT, Gary [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
GEORGE, Christopher, David [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
LIMA, Paulo, Eduardo [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : PROUDFOOT, Gary; (GB).
GEORGE, Christopher, David; (GB).
LIMA, Paulo, Eduardo; (GB)
Mandataire : DUNLOP, Brian, Kenneth, Charles; Wynne-Jones, Laine & James, 22 Rodney Road, Cheltenham, Gloucestershire GL50 1JJ (GB)
Données relatives à la priorité :
60/832,378 20.07.2006 US
0614500.7 21.07.2006 GB
Titre (EN) PLASMA SOURCES
(FR) SOURCES DE PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)This invention relates to a plasma source in the form of plasma generator (13) which utilises an antenna (11) and an RF source (12). The generated plasma flows into a chamber (14) and ions are accelerated out of the chamber (14) by grid (15). A body 16 is located in the volume for creating local losses and thereby reducing local plasma density.
(FR)La présente invention concerne une source plasma sous forme de générateur de plasma (13) qui utilise une antenne (11) et une source RF (12.) Le plasma généré s'écoule dans une chambre (14) et les ions sont accélérés hors de la chambre (14) par une grille (15). Un corps (16) se situe dans le volume pour créer des pertes locales et réduire par conséquent la densité de plasma locale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)