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1. (WO2008009452) SYSTÈME POUR NETTOYER UN OBJET PLAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/009452    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/006433
Date de publication : 24.01.2008 Date de dépôt international : 19.07.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.10.2008    
CIB :
B08B 5/02 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : IC-AUTOMATION GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Theodor-Römheld-Strasse 32-34, 55130 Mainz (DE) (Tous Sauf US).
FRIESENECKER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BECKER, Stefan [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FRIESENECKER, Andreas; (DE).
BECKER, Stefan; (DE)
Mandataire : KAMPFENKEL, Klaus; Blumbach Zinngrebe, Alexandrastr. 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2006 034 309.3 21.07.2006 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUM REINIGEN EINES FLACHEN GEGENSTANDS
(EN) DEVICE FOR CLEANING A FLAT OBJECT
(FR) SYSTÈME POUR NETTOYER UN OBJET PLAT
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Waferreiniger (10), der ohne bewegliche Teile zum Reinigen der Oberfläche eines Wafers (70) auskommt. Hierzu sind oberhalb einer Aufnahmeeinrichtung (60) mehrere hintereinander angeordnete Druckluftröhren (20 bis 36) angesetzt, die nacheinander derart mit Druckluft beaufschlagt werden, dass ein Druckluftvorhang (40) erzeugt wird, der über die Oberfläche des Wafers (70) wandert und somit Staub- und/oder Schmutzpartikel zu einer Absaugeinrichtung (90) schiebt, die die Staub- und/oder Schmutzpartikel absaugt.
(EN)The invention relates to a wafer cleaner (10) that, without any movable parts, can clean the surface of a wafer (70). For that purpose, a plurality of pressurised air pipes (20 to 36) arranged one after the other are mounted over a receiving system (60) and pressurised air is applied consecutively to the air pipes in such a way that a pressurised air curtain (40) is generated and wanders over the surface of the wafer (70), thus pushing dust and/or dirt particles to an aspirating device (90) that aspirates the dust and/or dirt particles.
(FR)L'invention concerne un nettoyeur de plaquettes (10) qui peut nettoyer la surface d'une plaquette (70) sans utilisation de pièces mobiles. À cet effet, le système selon l'invention comprend un support (60) au-dessus duquel sont placés plusieurs tubes à air comprimé (20 à 36) successifs qui sont alimentés successivement en air comprimé de façon à produire un rideau d'air comprimé (40) qui se déplace sur la surface de la plaquette (70) et pousse ainsi les particules de poussière et/ou de saleté jusqu'à un dispositif d'aspiration (90) qui aspire lesdites particules.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)