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1. WO2008008921 - ENSEMBLE DE TRANSDUCTEUR INCORPORANT UN ÉMETTEUR AYANT DES TROUS TRAVERSANTS, ET PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR NETTOYER UN SUBSTRAT À L'AIDE DE CELUI-CI

Numéro de publication WO/2008/008921
Date de publication 17.01.2008
N° de la demande internationale PCT/US2007/073402
Date du dépôt international 12.07.2007
CIB
B08B 3/04 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
08NETTOYAGE
BNETTOYAGE EN GÉNÉRAL; PROTECTION CONTRE LA SALISSURE EN GÉNÉRAL
3Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation ou la présence d'un liquide ou de vapeur d'eau
04Nettoyage impliquant le contact avec un liquide
B08B 3/10 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
08NETTOYAGE
BNETTOYAGE EN GÉNÉRAL; PROTECTION CONTRE LA SALISSURE EN GÉNÉRAL
3Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation ou la présence d'un liquide ou de vapeur d'eau
04Nettoyage impliquant le contact avec un liquide
10avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p.ex. par la chaleur, par l'électricité, par des vibrations
B08B 3/12 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
08NETTOYAGE
BNETTOYAGE EN GÉNÉRAL; PROTECTION CONTRE LA SALISSURE EN GÉNÉRAL
3Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation ou la présence d'un liquide ou de vapeur d'eau
04Nettoyage impliquant le contact avec un liquide
10avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p.ex. par la chaleur, par l'électricité, par des vibrations
12par des vibrations soniques ou ultrasoniques
G01V 1/38 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
VGÉOPHYSIQUE; MESURE DE LA GRAVITATION; DÉTECTION DES MASSES OU OBJETS; MARQUES D'IDENTIFICATION
1Séismologie; Prospection ou détection sismique ou acoustique
38spécialement adaptées aux zones recouvertes d'eau
CPC
B08B 3/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
3Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
04Cleaning involving contact with liquid
10with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity, by vibration
12by sonic or ultrasonic vibrations
Déposants
  • AKRION TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • FRANKLIN, Cole [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • FRANKLIN, Cole
Mandataires
  • BELLES, Brian, L.
Données relatives à la priorité
60/830,25412.07.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TRANDUCER ASSEMBLY INCORPORATING A TRANSMITTER HAVING THROUGH HOLES, AND METHOD OF CLEANING
(FR) ENSEMBLE DE TRANSDUCTEUR INCORPORANT UN ÉMETTEUR AYANT DES TROUS TRAVERSANTS, ET PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR NETTOYER UN SUBSTRAT À L'AIDE DE CELUI-CI
Abrégé
(EN)
An apparatus, system and method for processing a substrate utilizing sonic energy In one aspect, the invention utilizes a transmitter (104) having through holes (16) to dampen sonic energy that may damage the substrate In other aspects, the through holes of the transmitter (104) can be adapted to introduce a liquid solution having bubbles of a controlled size into the meniscus that couples the transmitter (104) to the surface of a substrate to be cleaned to further dampen the sonic energy IN one embodiment, the invention is a system for processing a substrate comprising a rotary support (108) for supporting a substrate in a substantially horizontal orientation, a transducer (140) assembly comprising a transmitter (104) and a transducer (140) adapted to generate sonic energy, the transducer (140) acoustically coupled to the transmitter (104) a plurality of internal passageways (16) extending through the transmitter from holes (16) in a first outer surface of the transmitter to holes (16) in a second outer surface of the transmitter (104), and the transducer (140) assembly positioned so that so that a portion of the vibration transmitter (104) is adjacent to and spaced from a surface of a substrate on the rotary support (16) so that when a liquid is applied to the surface of the substrate, a film of the liquid couples the portion of the transmitter (104) to the surface of the substrate
(FR)
L'invention concerne un appareil, un système et un procédé pour traiter un substrat à l'aide d'énergie sonique. Sous un aspect, l'invention utilise un émetteur ayant des trous traversants pour amortir l'énergie sonique qui peut endommager le substrat. Sous d'autres aspects, les trous traversants de l'émetteur peuvent être adaptés pour introduire une solution liquide ayant des bulles d'une dimension contrôlée dans le ménisque qui couple l'émetteur à la surface d'un substrat devant être nettoyée pour amortir davantage l'énergie sonique. Dans un mode de réalisation, l'invention est un système pour le traitement d'un substrat comprenant : un support tournant pour supporter un substrat dans une orientation sensiblement horizontale; un ensemble de transducteur comprenant un émetteur et un transducteur aptes à générer de l'énergie sonique, le transducteur étant couplé acoustiquement à l'émetteur; une pluralité de passages internes s'étendant à travers l'émetteur allant de trous dans une première surface externe de l'émetteur à des trous dans une seconde surface externe de l'émetteur, et l'ensemble de transducteur étant positionné de telle sorte qu'une partie de l'émetteur de vibrations est placée à proximité, tout en étant espacée, d'une surface d'un substrat sur le support tournant, de telle sorte que, lorsqu'un liquide est appliqué à la surface du substrat, un film du liquide couple la partie de l'émetteur à la surface du substrat.
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