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1. (WO2008008921) ENSEMBLE DE TRANSDUCTEUR INCORPORANT UN ÉMETTEUR AYANT DES TROUS TRAVERSANTS, ET PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR NETTOYER UN SUBSTRAT À L'AIDE DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/008921    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/073402
Date de publication : 17.01.2008 Date de dépôt international : 12.07.2007
CIB :
B08B 3/04 (2006.01), B08B 3/10 (2006.01), B08B 3/12 (2006.01), G01V 1/38 (2006.01)
Déposants : AKRION TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 1105 N. Market Street, Suite 1300, Wilmington, DE 19899 (US) (Tous Sauf US).
FRANKLIN, Cole [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : FRANKLIN, Cole; (US)
Mandataire : BELLES, Brian, L.; Wolf, Block, Schorr and Solis-Cohen LLP, 1650 Arch Street, 22nd Floor, Philadelphia, PA 19103 (US)
Données relatives à la priorité :
60/830,254 12.07.2006 US
Titre (EN) TRANDUCER ASSEMBLY INCORPORATING A TRANSMITTER HAVING THROUGH HOLES, AND METHOD OF CLEANING
(FR) ENSEMBLE DE TRANSDUCTEUR INCORPORANT UN ÉMETTEUR AYANT DES TROUS TRAVERSANTS, ET PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR NETTOYER UN SUBSTRAT À L'AIDE DE CELUI-CI
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus, system and method for processing a substrate utilizing sonic energy In one aspect, the invention utilizes a transmitter (104) having through holes (16) to dampen sonic energy that may damage the substrate In other aspects, the through holes of the transmitter (104) can be adapted to introduce a liquid solution having bubbles of a controlled size into the meniscus that couples the transmitter (104) to the surface of a substrate to be cleaned to further dampen the sonic energy IN one embodiment, the invention is a system for processing a substrate comprising a rotary support (108) for supporting a substrate in a substantially horizontal orientation, a transducer (140) assembly comprising a transmitter (104) and a transducer (140) adapted to generate sonic energy, the transducer (140) acoustically coupled to the transmitter (104) a plurality of internal passageways (16) extending through the transmitter from holes (16) in a first outer surface of the transmitter to holes (16) in a second outer surface of the transmitter (104), and the transducer (140) assembly positioned so that so that a portion of the vibration transmitter (104) is adjacent to and spaced from a surface of a substrate on the rotary support (16) so that when a liquid is applied to the surface of the substrate, a film of the liquid couples the portion of the transmitter (104) to the surface of the substrate
(FR)L'invention concerne un appareil, un système et un procédé pour traiter un substrat à l'aide d'énergie sonique. Sous un aspect, l'invention utilise un émetteur ayant des trous traversants pour amortir l'énergie sonique qui peut endommager le substrat. Sous d'autres aspects, les trous traversants de l'émetteur peuvent être adaptés pour introduire une solution liquide ayant des bulles d'une dimension contrôlée dans le ménisque qui couple l'émetteur à la surface d'un substrat devant être nettoyée pour amortir davantage l'énergie sonique. Dans un mode de réalisation, l'invention est un système pour le traitement d'un substrat comprenant : un support tournant pour supporter un substrat dans une orientation sensiblement horizontale; un ensemble de transducteur comprenant un émetteur et un transducteur aptes à générer de l'énergie sonique, le transducteur étant couplé acoustiquement à l'émetteur; une pluralité de passages internes s'étendant à travers l'émetteur allant de trous dans une première surface externe de l'émetteur à des trous dans une seconde surface externe de l'émetteur, et l'ensemble de transducteur étant positionné de telle sorte qu'une partie de l'émetteur de vibrations est placée à proximité, tout en étant espacée, d'une surface d'un substrat sur le support tournant, de telle sorte que, lorsqu'un liquide est appliqué à la surface du substrat, un film du liquide couple la partie de l'émetteur à la surface du substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)