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1. (WO2008008741) POSTE DE CHARGEMENT DE PONT ET PROCÉDÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/008741    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/073091
Date de publication : 17.01.2008 Date de dépôt international : 09.07.2007
CIB :
H01L 21/306 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 46897 Bayside Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
ROGERS, Theodore, W. [US/US]; (US) (US Seulement).
DEYANOV, Roumen, I. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ROGERS, Theodore, W.; (US).
DEYANOV, Roumen, I.; (US)
Mandataire : HEYMAN, Leonard, E.; MARTINE PENILLA & GENCARELLA, LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 200, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
60/819,603 10.07.2006 US
11/774,928 09.07.2007 US
Titre (EN) BRIDGE LOADPORT AND METHOD
(FR) POSTE DE CHARGEMENT DE PONT ET PROCÉDÉ
Abrégé : front page image
(EN)a bridge loadport (100) is described comprising a tool interface, an advance plate assembly (152), a port plate (140), and a port door (132). The tool interface extends vertically and is configured to substantially cover one end of a process tool. The advance plate assembly is supported on the front side of the tool interface and is configured to support a front-opening unified pod (70). The port plate extends vertically, covering an upper portion of the tool interface. An aperature having a size and shape that substantially matches a size and shape of a door (74) of a pod is formed in the port plate. The port door has a port door actuator (145) and a port door face attached to the port door actuator. In one embodiment, the port door face is movable with respect to the port door actuator along a line perpendicular to the aperature.
(FR)L'invention concerne un poste de chargement de pont qui comprend une interface d'outil, un ensemble plateau de déplacement, une plaque à orifice, et une porte à orifice. L'interface d'outil s'étend verticalement et est configurée de manière à recouvrir sensiblement une extrémité d'un outil de procédé. L'ensemble plateau de déplacement est soutenu du côté avant de l'interface d'outil et est configuré de manière à soutenir la nacelle unifiée à ouverture frontale (nacelle). La plaque à orifice s'étend verticalement, recouvrant une partie supérieure de l'interface d'outil. Une ouverture de taille et de forme similaires à celles d'une porte de nacelle est formée sur la plaque à orifice. La porte à orifice comporte un actionneur de porte à orifice et une face de porte à orifice fixée sur l'actionneur de porte à orifice. Dans un mode de réalisation la face de la porte à orifice peut se déplacer par rapport à l'actionneur de porte à orifice le long d'une ligne perpendiculaire à l'ouverture.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)