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1. WO2008008739 - PORT DE CHARGEMENT POUR TAILLES DE LOTS VARIABLES

Numéro de publication WO/2008/008739
Date de publication 17.01.2008
N° de la demande internationale PCT/US2007/073088
Date du dépôt international 09.07.2007
CIB
B65B 21/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
BMACHINES, APPAREILS, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS D'EMBALLAGE D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX; DÉBALLAGE D'OBJETS
21Emballage ou déballage des bouteilles
02dans ou à partir de réceptacles préformés, p.ex. des paniers à bouteilles
CPC
H01L 21/67772
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67772involving removal of lid, door, cover
H01L 21/67775
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67775Docking arrangements
Y10S 414/139
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
414Material or article handling
135Associated with semiconductor wafer handling
139including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
Déposants
  • ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • BONORA, Anthony, C. [US]/[US] (UsOnly)
  • KROLAK, Michael [US]/[US] (UsOnly)
  • HINE, Roger, G. [US]/[US] (UsOnly)
  • ROGERS, Theodore, W. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • BONORA, Anthony, C.
  • KROLAK, Michael
  • HINE, Roger, G.
  • ROGERS, Theodore, W.
Mandataires
  • HEYMAN, Leonard
Données relatives à la priorité
11/774,76409.07.2007US
60/819,60210.07.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) VARIABLE LOT SIZE LOAD PORT
(FR) PORT DE CHARGEMENT POUR TAILLES DE LOTS VARIABLES
Abrégé
(EN)
A variable lot size load port assembly (600) is described having a tool interface, a port door (626), a latch key (632), an advance plate (612), and an elevator (610). The tool interface extends generally in a vertical dimension and has an aperture (604). The port door has a closed position wherein the port door (626) at least partially occludes the aperture. The latch key (632) extends from the port door (626) and is configured to mate with a latch key receptacle of a door (42) of a front opening unified pod (FOUP) (40). The advance plate (612) is configured to support a front opening unified pod (FOUP) and translate between a retracted position and an advanced position. The elevator (610) raises and lowers the advance plate (612) to bring the latch key receptacle of the door (42) of the FOUP into alignment with the latch key (632) of the port door (626).
(FR)
L'invention concerne un ensemble port de chargement pour tailles de lots variables comprenant une interface d'outil, une porte d'accostage, une clé de verrouillage, une plaque d'avance et un élévateur. L'interface d'outil s'étend généralement dans une dimension verticale et présente une ouverture. La porte d'accostage présente une position fermée dans laquelle elle obstrue au moins partiellement l'ouverture. La clé de verrouillage, qui s'étend à partir de la porte d'accostage, est conçue pour s'engager dans un logement de clé de verrouillage formé dans une porte d'un conteneur FOUP. La plaque d'avance est conçue pour supporter un conteneur FOUP et se déplacer entre une position rétractée et une position avancée. L'élévateur monte et descend la plaque d'avance pour aligner le logement de clé de verrouillage de la porte du conteneur FOUP avec la clé de verrouillage de la porte d'accostage.
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