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1. (WO2008008154) STRUCTURE DE BARRIÈRE ET DISPOSITIF DE BUSE À UTILISER DANS DES OUTILS SERVANT À TRAITER DES PIÈCES MICRO-ÉLECTRONIQUES AVEC UN OU PLUSIEURS FLUIDES DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/008154    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/014325
Date de publication : 17.01.2008 Date de dépôt international : 20.06.2007
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : FSI INTERNATIONAL, INC. [US/US]; 3455 Lyman Boulevard, Chaska, Minnesota 55318 (US) (Tous Sauf US).
COLLINS, Jimmy, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
DEKRAKER, David [US/US]; (US) (US Seulement).
GAST, Tracy, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
ROSE, Alan, D. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : COLLINS, Jimmy, D.; (US).
DEKRAKER, David; (US).
GAST, Tracy, A.; (US).
ROSE, Alan, D.; (US)
Mandataire : PARINS, Paul, J.; Kagan Binder, PLLC, Suite 200, Maple Island Building, 221 Main Street North, Stillwater, Minnesota 55082 (US)
Données relatives à la priorité :
60/819,133 07.07.2006 US
Titre (EN) BARRIER STRUCTURE AND NOZZLE DEVICE FOR USE IN TOOLS USED TO PROCESS MICROELECTRONIC WORKPIECES WITH ONE OR MORE TREATMENT FLUIDS
(FR) STRUCTURE DE BARRIÈRE ET DISPOSITIF DE BUSE À UTILISER DANS DES OUTILS SERVANT À TRAITER DES PIÈCES MICRO-ÉLECTRONIQUES AVEC UN OU PLUSIEURS FLUIDES DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides a tool for treating microelectronic workpieces with one or more treatment materials, including liquids, gases, fluidized solids, dispersions, combinations of these, and the like.
(FR)La présente invention concerne un outil pour traiter des pièces micro-électroniques avec un ou plusieurs matériaux de traitement, comprenant des liquides, des gaz, des solides fluidifiés, des dispersions, des combinaisons de ceux-ci, et autres.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)