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1. (WO2008007614) APPAREIL D'INSPECTION DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/007614    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/063538
Date de publication : 17.01.2008 Date de dépôt international : 06.07.2007
CIB :
G01N 21/956 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
OOMORI, Takeo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUKAZAWA, Kazuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OOMORI, Takeo; (JP).
FUKAZAWA, Kazuhiko; (JP)
Mandataire : OKADA, FUSHIMI AND HIRANO, PC; NE Kudan Bldg. 2-7, Kudan-minami 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1020074 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-193490 14.07.2006 JP
Titre (EN) SURFACE INSPECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION DE SURFACE
(JA) 表面検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A surface inspecting apparatus is provided with an illuminating means for illuminating a repeated pattern formed on the surface of an object to be inspected by linear polarization; a setting means for setting an angle formed by a direction on the surface of an incidence plane of the linear polarization and a repeating direction of the repeated pattern at a prescribed value other than 0; an extracting means for extracting polarization components vertical to an oscillation surface of the linear polarization, from light generated in a specular direction from the repeated pattern; a light receiving means for receiving the light extracted by the extracting means, and outputting light intensity of the specular reflection light; and a detecting means for detecting defects of the repeated pattern, based on the light intensity of the specular reflection light outputted from the light receiving means. The setting means sets the angle formed by the direction on the surface of the incidence plane of the linear polarization and the repeating direction of the repeated pattern so that a difference between the intensity of light from a normal portion on the surface and the light intensity of light from a defective portion on the surface is at maximum.
(FR)L'invention concerne un appareil d'inspection de surface, comportant un moyen d'illumination servant à illuminer un motif répétitif formé à la surface d'un objet à inspecter par polarisation linéaire ; un moyen de réglage servant à régler sur une valeur prescrite non nulle un angle formé par la direction d'un plan d'incidence de la polarisation linéaire et une direction de répétition du motif répétitif ; un moyen d'extraction servant à extraire de la lumière générée par le motif répétitif dans une direction spéculaire des composantes de polarisation verticales à une surface d'oscillation de la polarisation linéaire ; un moyen récepteur de lumière servant à recevoir la lumière extraite par le moyen d'extraction et à fournir l'intensité de la lumière spéculaire réfléchie ; et un moyen de détection servant à détecter des défauts du motif répétitif en fonction de l'intensité de la lumière spéculaire réfléchie fournie par le moyen récepteur de lumière. Le moyen de réglage règle l'angle formé par la direction du plan d'incidence de la polarisation linéaire et la direction de répétition du motif répétitif de façon à maximiser la différence entre l'intensité de la lumière émanant d'une partie non défectueuse de la surface et l'intensité de la lumière émanant d'une partie défectueuse de la surface.
(JA) 表面検査装置は、被検物体の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を0以外の所定値に設定する設定手段と、前記繰り返しパターンから正反射方向に発生した光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段と、前記抽出手段によって抽出された光を受光し、該正反射光の光強度を出力する受光手段と、前記受光手段から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)