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1. (WO2008006265) SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION-AGRANDISSEMENT À LONGUE DISTANCE FOCALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/006265    N° de la demande internationale :    PCT/CN2006/003590
Date de publication : 17.01.2008 Date de dépôt international : 25.12.2006
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 17/00 (2006.01), G03B 27/54 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; No. 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park, Shanghai 201203 (CN) (Tous Sauf US).
LIU, Guogan [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
CAI, Yanmin [CN/CN]; (CN) (US Seulement)
Inventeurs : LIU, Guogan; (CN).
CAI, Yanmin; (CN)
Mandataire : SHANGHAI ZHI XIN PATENT AGENT LTD.; 26/F, Zhijun Building, 1223 Xie Tu Rd., Shanghai 200032 (CN)
Données relatives à la priorité :
200610028605.7 04.07.2006 CN
Titre (EN) LARGE WORKING DISTANCE UNIT-MAGNIFICATION PROJECTION OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION-AGRANDISSEMENT À LONGUE DISTANCE FOCALE
Abrégé : front page image
(EN)A projection optical system for projection photolithography comprises an optical axis; a spherical concave mirror; a pair of prisms each having respective first and second flat surfaces, wherein the second flat surfaces are arranged adjacent to the flat surface of the plano-convex lens element on the opposite sides of the optical axis, and the first flat surfaces are arranged adjacent to object plane and image plane; a positive lens group comprising a plano-convex lens element and a meniscus lens element; and a telescopic lens group comprising a double-convex positive lens element, a concave-convex lens element and double-concave negative lens element.
(FR)L'invention porte sur un système photolithographique optique de projection comprenant: un axe optique; un miroir sphérique concave; une paire de prismes présentant chacun une première et une deuxième surface planes, les deuxièmes surfaces planes jouxtant la surface plane d'éléments lenticulaires plano-convexes situés sur les côtés opposés de l'axe optique, et les premières surfaces planes jouxtant le plan objet et le plan image; un groupe de lentilles positives présentant un élément lenticulaire plano-convexe et un élément lenticulaire méniscal; et un groupe de lentilles télescopiques présentant un élément lenticulaire positif à double convexité, un élément lenticulaire concave-convexe, et un élément lenticulaire négatif à double concavité.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)