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1. (WO2008005461) ENSEMBLES CIBLES DE PULVÉRISATION CATHODIQUE POSSÉDANT UNE ÉPAISSEUR DE BRASURE RÉGULÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/005461    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/015411
Date de publication : 10.01.2008 Date de dépôt international : 03.07.2007
CIB :
H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 39 Old Ridgebury Road, Danbury, CT 06810-5113 (US) (Tous Sauf US).
GILMAN, Paul, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
MATHEW, Binu [US/US]; (US) (US Seulement).
O'HARA, Brian, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
HUNT, Thomas, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
MCDONALD, Peter [US/US]; (US) (US Seulement).
KOENIGSMANN, Holger, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GILMAN, Paul, S.; (US).
MATHEW, Binu; (US).
O'HARA, Brian, J.; (US).
HUNT, Thomas, J.; (US).
MCDONALD, Peter; (US).
KOENIGSMANN, Holger, J.; (US)
Mandataire : SCHWARTZ, Iurie, A.; Praxair, Inc., 39 Old Ridgebury Road, Danbury, CT 06810-5113 (US)
Données relatives à la priorité :
11/480,831 06.07.2006 US
Titre (EN) SPUTTER TARGET ASSEMBLIES HAVING A CONTROLLED SOLDER THICKNESS
(FR) ENSEMBLES CIBLES DE PULVÉRISATION CATHODIQUE POSSÉDANT UNE ÉPAISSEUR DE BRASURE RÉGULÉE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a method and apparatus of forming a sputter target assembly having a controlled solder thickness. In particular, the method includes the introduction of a bonding foil (20), between the backing plate (16) and the sputter target (10), wherein the bonding foil (20) is an ignitable heterogeneous stratified structure for the propagation of an exothermic reaction.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil destinés à former un ensemble cible de pulvérisation cathodique possédant une épaisseur de brasure régulée. Le procédé consiste, plus spécifiquement, à introduire une feuille de liaison (20) entre la plaque de support (16) et la cible de pulvérisation cathodique (10), la feuille de liaison (20) consistant en une structure stratifiée hétérogène inflammable destinée à propager une réaction exothermique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)