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1. WO2008004778 - DISPOSITIF DE PRÉLÈVEMENT ET DE PLACEMENT

Numéro de publication WO/2008/004778
Date de publication 10.01.2008
N° de la demande internationale PCT/KR2007/003094
Date du dépôt international 26.06.2007
CIB
H01L 21/50 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
50Assemblage de dispositifs à semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par l'un uniquement des groupes H01L21/06-H01L21/326185
CPC
H01L 21/6838
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
6838with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Déposants
  • TECHWING., CO. LTD [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • SHIM, Jae-Gyun [KR]/[KR] (UsOnly)
  • NA, Yun-Sung [KR]/[KR] (UsOnly)
  • JEON, In-Gu [KR]/[KR] (UsOnly)
  • YO, Dong-Hyun [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • SHIM, Jae-Gyun
  • NA, Yun-Sung
  • JEON, In-Gu
  • YO, Dong-Hyun
Mandataires
  • HAN, Seung Kwan
Données relatives à la priorité
10-2006-006171601.07.2006KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PICK-AND-PLACE APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE PRÉLÈVEMENT ET DE PLACEMENT
Abrégé
(EN)
A pick-and-place apparatus is disclosed, which transfers and loads semiconductor devices between first and second loading elements. The semiconductor devices are loadable and arrangeable at a first row interval in the first loading element, and alternatively arrangeable at second and third row intervals in the second loading element. The pick-and-place apparatus includes a multiplicity of picking unit modules, each of which has at least one or more picking units; and an interval regulation apparatus for regulating intervals between the picking unit modules at the first to third modes. The first to third row interval values are different from each other. The intervals between the picking unit modules are all regulated to be identical to the first row interval at the first mode. The intervals between the picking unit modules are alternately regulated to the second row interval and the third row interval in turn at the second mode. The intervals between the picking unit modules are alternately regulated to the third row interval and the second row interval in turn at the third mode. Therefore, the pick-and-place apparatus can stably transfer semiconductor devices from an element on which semiconductor devices are loaded at the same or different intervals therebetween to another element on which semiconductor devices are loadable or arrangeable at the different or same intervals therebetween.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de prélèvement et de placement transférant et chargeant des appareils à semiconducteurs entre un premier et un deuxième élément de chargement. Les appareils à semiconducteurs peuvent être chargés et disposés à un premier intervalle de rangée dans le premier élément de chargement, et en variante, à un deuxième et à un troisième intervalle de rangée dans le deuxième élément de chargement. Le dispositif de prélèvement et de placement comporte une pluralité de modules d'unités de prélèvement comprenant chacun au moins une unité de prélèvement, le dispositif de prélèvement comportant également un dispositif de régulation d'intervalles destiné à réguler les intervalles entre les modules d'unités de prélèvement, dans les trois premiers modes. Les trois premières valeurs d'intervalles de rangées sont différentes les unes des autres. Les intervalles entre les modules d'unités de prélèvement sont tous régulés de manière à être identiques au premier intervalle de rangée dans le premier mode. Les intervalles entre les modules d'unités de prélèvement sont alternativement régulés de manière à correspondre au deuxième intervalle de rangée et au troisième intervalle de rangée, tour à tour, dans le deuxième mode. Les intervalles entre les modules d'unités de prélèvement sont alternativement régulés de manière à correspondre au troisième intervalle de rangée et au deuxième intervalle de rangée, tour à tour, dans le troisième mode. Par conséquent, le dispositif de prélèvement et de placement peut transférer de façon stable des appareils à semiconducteurs d'un élément sur lequel les appareils à semiconducteurs sont chargés, à des intervalles identiques ou différents entre eux, vers un autre élément sur lequel les appareils à semiconducteurs peuvent être chargés et disposés à des intervalles identiques ou différents entre eux.
Également publié en tant que
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