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1. (WO2008004528) procédé de diagnostic d'une libération anormale de plasma, système de diagnostic d'une libération anormale de plasma et programme informatique
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/004528    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/063254
Date de publication : 10.01.2008 Date de dépôt international : 02.07.2007
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01)
Déposants : Ritsumeikan University [JP/JP]; 1-7, Toganoo-cho, Nishinokyo, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048520 (JP) (Tous Sauf US).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
MIYANO, Takaya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUMOTO, Toshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IKEUCHI, Naoki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORIYA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MIYANO, Takaya; (JP).
MATSUMOTO, Toshiyuki; (JP).
IKEUCHI, Naoki; (JP).
MORIYA, Tsuyoshi; (JP)
Mandataire : KIMURA, Mitsuru; 2nd Floor, Kyohan Building, 7, Kandanishiki-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-183886 03.07.2006 JP
Titre (EN) PLASMA ABNORMAL DISCHARGE DIAGNOSIS METHOD, PLASMA ABNORMAL DISCHARGE DIAGNOSIS SYSTEM, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) procédé de diagnostic d'une libération anormale de plasma, système de diagnostic d'une libération anormale de plasma et programme informatique
(JA) プラズマ異常放電診断方法、プラズマ異常放電診断システム及びコンピュータプログラム
Abrégé : front page image
(EN)A plasma abnormal discharge diagnosis system includes: a data acquisition unit (21) for acquiring time series data fluctuating depending on a plasma state; a translation error calculation unit (24) for calculating a deterministic value serving as an index indicating whether the time series data in the plasma is deterministic or probabilistic according to the time series data acquired by the data acquisition unit (21); an abnormal discharge judging unit (26) for judging that the plasma is in an abnormal discharge state when the value indicating the deterministic feature calculated by a determinism deriving means is not greater than a predetermined threshold value. The deterministic value may be, for example, a translation error or permutation entropy. When the permutation entropy is used as a value indicating the deterministic feature, a permutation entropy calculation unit is provided.
(FR)Selon la présente invention, un système de diagnostic d'une libération anormale de plasma comprend : une unité d'acquisition de données (21) destinée à acquérir des données chronologiques fluctuant en fonction d'un état du plasma; une unité de calcul d'erreur de translation (24) destinée à calculer une valeur déterministe servant d'indice indiquant si lesdites données du plasma sont déterministes ou probabilistes en fonction desdites données acquises par ladite unité (21); une unité d'évaluation d'une libération anormale (26) destinée à évaluer si le plasma est dans un état de libération anormale lorsque la valeur indiquant la caractéristique déterministe calculée par un moyen de dérivation du déterminisme n'est pas supérieure à une valeur seuil prédéterminée. La valeur déterministe peut être, par exemple, une erreur de translation ou une entropie de permutations. Lorsque l'entropie de permutations est utilisée comme valeur indiquant la caractéristique déterministe, une unité de calcul de l'entropie de permutations est fournie.
(JA) プラズマの状態に伴って変動する時系列データを取得するデータ取得部(21)と、データ取得部(21)で取得した時系列データから、プラズマにおける時系列データが決定論的であるか確率論的であるかの指標となる決定論性を表す値を算出する並進誤差演算部(24)と、前記プラズマ発生中に、前記決定論性導出手段で算出された決定論性を表す値が、所定のしきい値以下の場合に、前記プラズマが異常放電状態であると判定する異常放電判定部(26)と、を備える。決定論性を表す値は、例えば、並進誤差又は順列エントロピーを用いることができる。決定論性を表す値として順列エントロピーを用いる場合は、順列エントロピー演算部を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)