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1. (WO2008003502) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR INDIVIDUALISER ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/003502    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/005968
Date de publication : 10.01.2008 Date de dépôt international : 05.07.2007
CIB :
B28D 5/00 (2006.01)
Déposants : RENA SONDERMASCHINEN GMBH [DE/DE]; Ob der Eck 5, 78148 Gütenbach (DE) (Tous Sauf US).
HERTER, Richard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KALTENBACH, Konrad [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : HERTER, Richard; (DE).
KALTENBACH, Konrad; (DE)
Mandataire : STÜRKEN, Joachim; Joachim Stürken Patentanwaltsges. mbH, Kirchenhölzle 18, 79104 Freiburg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2006 031 629.0 06.07.2006 DE
06026054.4 15.12.2006 EP
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VEREINZELN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR SEPARATING AND TRANSPORTING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR INDIVIDUALISER ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Vereinzeln und Transportieren eines scheibenförmigen Substrats (102; 202) wie beispielsweise eines Solarwafers. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass Vereinzelungen innerhalb eines Fluids stattfinden, und dass zwischen einem Greifer (108; 208) und dem zu vereinzelnden Substrat (102; 202) aufgrund eines dünnen Fluidfilms Adhäsionskräfte entstehen, die ein Anhaften an dem Greifer (108; 208) ermöglichen. Durch die Entnahme quer zur Vorschubrichtung (105; 205) oder insbesondere parallel zur flächigen Ausbildung der Substrate (102; 202) ist eine sehr schonende und effiziente Vereinzelung von scheibenförmig gestalteten Substraten (102; 202) mit einer hohen Takt zeit möglich.
(EN)The invention particularly relates to separating and transporting a disk-shaped substrate (102; 202), such as a solar wafer. The invention is characterized in that separation steps are performed within a fluid and that adhesive forces develop between a gripper (108; 208) and the substrate to be separated (102; 202) due to a thin fluid film, the forces enabling adhesion to the gripper (108; 208). Due to the removal transversely to the feed direction (105; 205) or particularly parallel to a flat extension of the substrates (102; 202), a very gentle and efficient separation of disk-shaped substrates (102; 202) at a high cycle time is achieved.
(FR)L'invention concerne particulièrement l'individualisation et le transport d'un substrat en forme de disque (102 ; 202) comme par exemple une tranche de silicium pour cellule solaire. L'invention est caractérisée en ce que les individualisations ont lieu à l'intérieur d'un fluide, et qu'entre un grappin (108 ; 208) et le substrat à individualiser (102 ; 202) des forces d'adhésion se créent en raison d'un film mince de fluide, lesquelles permettent une adhérence sur le grappin (108 ; 208). Le soulèvement transversalement au sens d'avancement (105 ; 205) ou en particulier parallèlement à la conception plane des substrats (102 ; 202) permet d'obtenir une individualisation très délicate et efficace des substrats (102 ; 202) en forme de disque avec une cadence élevée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)