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1. (WO2008003442) PROCÉDÉ DE RÉVISION/RÉPARATION D'UN OBJECTIF DE PROJECTION LITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/003442    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/005837
Date de publication : 10.01.2008 Date de dépôt international : 02.07.2007
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
ROGALSKY, Olaf [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BITTNER, Boris [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
PETASCH, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HAEUSSLER, Jochen [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ROGALSKY, Olaf; (DE).
BITTNER, Boris; (DE).
PETASCH, Thomas; (DE).
HAEUSSLER, Jochen; (DE)
Mandataire : HEUCKEROTH, Volker; Witte, Weller & Partner, Postfach 105462, 70047 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
60/818,396 03.07.2006 US
Titre (EN) METHOD FOR REVISING/REPAIRING A LITHOGRAPHIC PROJECTION OBJECTIVE
(FR) PROCÉDÉ DE RÉVISION/RÉPARATION D'UN OBJECTIF DE PROJECTION LITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method for revising/iepaiiiiig A projection objective of a lithography projection exposure apparatus (10), the projection objective comprising a plurality of optical elements between an object plane (12) and an image plane (16), the plurality of optical elements comprising at least one first optical element having a refractive power, comprises, without exchanging all of the optical elements, removing the at least one first optical element from the projection objective in the field, inserting at least one first spare optical element into the projection objective at the location of the at least one first optical element, and adjusting an image quality of the projection objective to a desired quality.
(FR)Procédé de révision/réparation d'un objectif de projection d'un appareil d'exposition de projection de lithographie (10), l'objectif de projection comprenant une pluralité d'éléments optiques entre une surface d'objet (12) et une surface d'image (16), la pluralité d'éléments optiques comprenant au moins un premier élément optique ayant une puissance optique. Ce procédé comprend, sans échanger la totalité des éléments optiques, le retrait d'au moins un premier élément optique de l'objectif de projection dans le champ, l'insertion d'au moins un premier élément optique de rechange dans l'objectif de projection à l'emplacement au moins du premier élément optique et l'ajustement d'une qualité d'image de l'objectif de projection à la qualité désirée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)