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1. (WO2008001891) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/001891    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/063126
Date de publication : 03.01.2008 Date de dépôt international : 29.06.2007
CIB :
G01N 21/956 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (Tous Sauf US).
SUGA, Tadashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
CHIKAMATSU, Shuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OCHI, Masayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Takahiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OTANI, Seiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SUGA, Tadashi; (JP).
CHIKAMATSU, Shuichi; (JP).
OCHI, Masayuki; (JP).
SUZUKI, Takahiko; (JP).
OTANI, Seiji; (JP)
Mandataire : Polaire, I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku Tokyo 1040032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-180638 30.06.2006 JP
2007-092779 30.03.2007 JP
Titre (EN) INSPECTING DEVICE, AND INSPECTING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置および検査方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an inspecting device, which can make a temperature control efficiently without being followed by a large size. The component parts of a defect inspecting device are classified into parts to be temperature-controlled and parts to be temperature-uncontrolled, the target parts of which are accommodated altogether in a temperature control parts accommodating unit (604) whereas the nontarget parts of which are arranged in a radiation unit (605). The temperature of the temperature control parts accommodating unit (604) is metered by a temperature meter (603), and a control CPU (602) of a temperature conditioner (601) makes such a control on the basis of the metered temperature as to keep the inside of the temperature control parts accommodating unit (604) at a constant temperature. As compared with the case, in which the individual parts are heated or cooled to make the temperature control, therefore, it is easy to keep the constant temperature thereby to provide an energy-saving effect.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection, qui permet d'assurer une régulation de température de manière efficace sans pour autant être doté d'une grande taille. Les pièces d'un dispositif d'inspection de défauts sont classées en pièces devant être régulées en température et en pièces ne devant pas être régulées en température, les pièces cibles étant entièrement logées dans une unité de logement de pièces à régulation de température (604) tandis que les pièces non-cibles sont agencées dans une unité de rayonnement (605). La température de l'unité de logement de pièces à régulation de température (604) est mesurée par un thermomètre (603), et une unité de commande de régulation (602) d'un conditionneur thermique (601) effectue une telle régulation sur la base de la température mesurée, de sorte à maintenir l'intérieur de l'unité de logement de pièces à régulation de température (604) à une température constante. Par rapport au cas dans lequel les pièces individuelles sont chauffées ou refroidies pour assurer la régulation de température, par conséquent, il est facile de maintenir la température constante et de permettre ainsi une économie d'énergie.
(JA) 大型化を伴うことなく、効率的に温度制御が可能な検査装置を実現する。  欠陥検査装置の構成部品のうち、温度制御すべき部品と、温度制御不要の部品とに区別し、温度制御すべき部品を一括して温度制御部品収容部604に収容し、温度制御不要の部品を放熱部605に配置する。温度制御部品収容部604の温度は、温度測定器603で測定され、それに基づいて、温調器601の制御CPU602が、温度制御部品収容部604内を一定温度に維持するように制御する。これにより、個々の部品を加熱又は冷却して、温度制御する場合に比較して、一定温度に維持することが容易であり、省エネルギー効果を得ることができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)