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1. (WO2008001731) Appareil d'examen de surface et procédé d'examen de surface
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/001731    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/062728
Date de publication : 03.01.2008 Date de dépôt international : 25.06.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.11.2007    
CIB :
G01N 21/88 (2006.01)
Déposants : NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921 (JP) (Tous Sauf US).
JAPAN SYSTEM DESIGN CO., LTD. [JP/JP]; Sky Hills Deshio 3F, 4-1, Deshio 3-chome, Minami-ku, Hiroshima-shi, Hiroshima 7340001 (JP) (Tous Sauf US).
SIGMA CO., LTD. [JP/JP]; 2-28, Kegoya 9-chome, Kure-shi, Hiroshima 7370012 (JP) (Tous Sauf US).
SANZO CO., LTD. [JP/JP]; 15, Tamashima-yuzaki, Kurashiki-shi, Okayama 7138125 (JP) (Tous Sauf US).
MIYAUCHI, Hidekazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OKADA, Saburo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YASHIKI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ITANI, Masaru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAEKI, Mitsuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MIYAUCHI, Hidekazu; (JP).
OKADA, Saburo; (JP).
YASHIKI, Yoshiyuki; (JP).
ITANI, Masaru; (JP).
SAEKI, Mitsuhiro; (JP)
Mandataire : YOSHIDA, Yoshiharu; Nishi-shinbashi Excel Building 7F, 20-10, Nishi-shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-177392 27.06.2006 JP
Titre (EN) SURFACE INSPECTING APPARATUS AND SURFACE INSPECTING METHOD
(FR) Appareil d'examen de surface et procédé d'examen de surface
(JA) 表面検査装置および表面検査方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a surface inspecting apparatus and a surface inspecting method for detecting scratches and defects on a flat surface and a curved surface at a high speed and a high accuracy. In a surface inspecting apparatus (100), a movable mirror (30) and fixed mirrors (40a, 40b, 40c) are arranged in a projector system, and scanning light is reflected to the fixed mirrors (40a, 40b, 40c) by the movable mirror (30), and reflection light from the fixed mirrors (40a, 40b, 40c) is applied from different angles on the inspecting surface of a subject (11) to be inspected. A light receiving system is provided with a light receiving means (8) which can detect the position of the peak point of the reflection light and the distribution value (light quantity distribution) of a waveform. When the light receiving means receives any of the light reflected by the surface to be inspected and the position of the peak point of the reflection light and the distribution value of the waveform are detected, the reflection angle of the light can be measured by the position of the peak point of the reflection light, and whether there is a scratch on the surface to be inspected can be judged by distribution value of the waveform.
(FR)L'invention concerne un appareil d'examen de surface et un procédé d'examen de surface pour détecter les rayures et les défauts sur une surface plane et une surface courbe à une vitesse élevée et avec une grande précision. Dans un appareil (100) d'examen de surface, un miroir (30) mobile et des miroirs (40a, 40b, 40c) fixes sont disposés dans un système de projection et la lumière de balayage est réfléchie vers les miroirs (40a, 40b, 40c) fixes par le miroir (30) mobile. La lumière réfléchie par les miroirs (40a, 40b, 40c) fixe est envoyée sous différents angles vers la surface à examiner d'un objet (11) à examiner. L'appareil comprend également un système récepteur de lumière doté d'un moyen (8) récepteur de lumière qui peut détecter la position du point de crête de la lumière réfléchie et la valeur de distribution (distribution de quantité de lumière) d'une forme d'onde. Lorsque le moyen récepteur de lumière reçoit une quelconque lumière réfléchie par la surface à examiner et que la position du point de crête de la lumière réfléchie ainsi que la valeur de distribution de la forme d'onde sont détectées, l'angle de réflexion de la lumière peut être mesuré par la position du point de crête de la lumière réfléchie et la présence ou non d'une rayure sur la surface à examiner peut être estimée à l'aide de la valeur de distribution de la forme d'onde.
(JA) 高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。 表面検査装置100は、投光系に可動ミラー30と固定ミラー40a,40b,40cを設けることで、走査光を可動ミラー30により固定ミラー40a,40b,40cに反射させ、固定ミラー40a,40b,40cからの反射光は異なる角度から被検査物体11の被検査面に照射する。受光系に反射光のピーク点の位置および波形の分散値(光量分布)を検出することができる受光手段8を設け、被検査面より反射されたいずれかの反射光を受光し、反射光のピーク点の位置および波形の分散値を検出することで、反射光のピーク点の位置により光の反射角度を測定することが可能となり、また波形の分散値により被検査面に傷の有無を判断することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)