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1. (WO2007150039) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR TRANSPORTER, METTRE EN FILE D'ATTENTE ET CHARGER DES SUBSTRATS DE GRANDE TAILLE DANS DES OPÉRATIONS DE TRAITEMENT À OUTILS MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/150039    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/071920
Date de publication : 27.12.2007 Date de dépôt international : 22.06.2007
CIB :
G06F 19/00 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 46897 Bayside Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
BONORA, Anthony, C. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BONORA, Anthony, C.; (US)
Mandataire : GENCARELLA, Michael, L.; Martine Penilla & Gencarella, Llp, 710 Lakeway Drive, Suite 200, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
60/815,890 22.06.2006 US
11/766,620 21.06.2007 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR TRANSPORTER, METTRE EN FILE D'ATTENTE ET CHARGER DES SUBSTRATS DE GRANDE TAILLE DANS DES OPÉRATIONS DE TRAITEMENT À OUTILS MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)A substrate support and transport system for substrates to be processed is provided The substrate support system includes a conveying mechanism (100) for supporting the substrate (112) in a vertical orientation The conveying mechanism (100) includes a moveable base supporting a bottom edge of the substrate and a non-contact support arm (110) providing support to a side of the substrate The substrate support system includes a housing (116) disposed over the moveable base and substantially enclosing the substrate and the non-contact support arm An air supply providing an air supply directed from a top edge of the substrate (112) toward the base is included m the substrate support and transport system A method of transporting a substrate is also provided.
(FR)L'invention concerne un système de support et de transport de substrats pour des substrats à traiter. Le système de transport de substrat comprend un mécanisme de transport pour supporter le substrat dans une orientation verticale. Le mécanisme de transport comprend une base mobile supportant un bord inférieur du substrat et un bras de support sans contact qui procure un support à un côté du substrat. Le système de support comprend un boîtier disposé sur la base mobile et renfermant sensiblement le substrat et le bras de support sans contact. Une alimentation d'air qui fournit de l'air depuis un bord supérieur du substrat en direction de la base est prévue dans le système de support et de transport de substrats. L'invention concerne également un procédé de transport de substrats.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)