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1. (WO2007148850) APPAREIL DE REFROIDISSEMENT POUR PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'ÉCRAN À CRISTAUX LIQUIDES (LCD)
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/148850    N° de la demande internationale :    PCT/KR2006/003901
Date de publication : 27.12.2007 Date de dépôt international : 28.09.2006
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : KIM, Yeong-Hun [KR/KR]; (KR)
Inventeurs : KIM, Yeong-Hun; (KR)
Mandataire : MAC PATENT & LAW FIRM; 5th Floor, Hwaseung Bldg., 15-3 Yangjae 1-dong, Seocho-gu, Seoul 137-888 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2006-0056513 22.06.2006 KR
Titre (EN) COOLING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR OR LCD MANUFACTURING PROCESS
(FR) APPAREIL DE REFROIDISSEMENT POUR PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'ÉCRAN À CRISTAUX LIQUIDES (LCD)
Abrégé : front page image
(EN)A cooling apparatus for semiconductor or liquid crystal display (LCD) manufacturing equipment is provided with a circulation pipe having an input port and an output port in order to cool a chamber. The cooling apparatus includes a valve, a regulator, a vortex tube, a first temperature sensor and a controller. Thereby, the cooling apparatus can prevent environmental destruction by using compressed gas instead of existing refrigerants or cooling material, and does not require a heater for heating when supercooled, to thus save production costs and maintenance expenses.
(FR)Cette invention a pour objet un appareil de refroidissement pour un équipement de fabrication de semi-conducteur ou d'écran à cristaux liquides (LCD) comportant une conduite de circulation ayant un orifice d'entrée et un orifice de sortie afin de refroidir une chambre. L'appareil de refroidissement comprend une soupape, un régulateur, une conduite à tourbillons, un premier détecteur de température et un dispositif de commande. Ainsi, l'appareil de refroidissement peut empêcher une destruction environnementale par l'utilisation d'un gaz comprimé à la place de réfrigérants ou de matériau de refroidissement existants , et ne nécessite pas un dispositif de chauffage pour chauffer lorsqu'il est surrefroidi, économisant ainsi des coûts de production et des dépenses de maintenance.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)