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1. (WO2007148696) APPAREIL D'INSPECTION DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/148696    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/062336
Date de publication : 27.12.2007 Date de dépôt international : 19.06.2007
CIB :
G01R 31/02 (2006.01)
Déposants : NIDEC-READ CORPORATION [JP/JP]; 10 Tsutsumisoto-cho, Nishikyogoku, Ukyo-ku, Kyoto-shi Kyoto 6150854 (JP) (Tous Sauf US).
KADOTA, Harumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KADOTA, Harumi; (JP)
Mandataire : KITAMURA, Hideaki; 338 Kuzetonoshiro-cho Minami-ku, Kyoto-shi Kyoto 6018205 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-169820 20.06.2006 JP
Titre (EN) SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND SUBSTRATE INSPECTING METHOD
(FR) APPAREIL D'INSPECTION DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRATS
(JA) 基板検査装置及び基板検査方法
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a substrate inspecting apparatus by which an inspection time can be shortened by reducing the number of times of short-circuit inspection by performing the short-circuit inspection to a plurality of substrates in parallel. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A substrate inspecting apparatus is provided for inspecting electrical characteristics of a plurality of substrates to be inspected. The substrate inspecting apparatus is provided with a plurality of substrate inspecting jigs, which have a plurality of inspecting probes set on wiring patterns of the substrates to be inspected and are arranged corresponding to each of the substrates to be inspected; a control means for setting the inspecting probe of one wiring pattern as a first inspecting section and for setting the inspecting probes for wiring patterns other than the one wiring pattern as second inspecting sections for each of the substrates to be inspected; a switching means for setting a plurality of first inspecting sections as a first group by connecting the first inspecting sections in parallel and for setting a plurality of inspecting sections as a second group by connecting the second inspecting sections in parallel; a power supply means for generating a prescribed potential difference between the first and the second groups; a detecting means for detecting electrical characteristics between the first and the second groups; and a judging means for judging existence of a short-circuit based on the electrical characteristics.
(FR)L'invention propose un appareil d'inspection de substrats permettant de raccourcir la durée d'inspection en réduisant le nombre d'inspections pour un court-circuit en effectuant l'inspection pour un court-circuit sur une pluralité de substrats en parallèle. L'invention concerne un appareil d'inspection de substrats permettant d'inspecter des caractéristiques électriques d'une pluralité de substrats à inspecter. L'appareil d'inspection de substrats est doté d'une pluralité de gabarits d'inspection de substrats, qui comprennent une pluralité de sondes d'inspection disposées sur des schémas de câblage des substrats à inspecter et sont agencés pour correspondre à chacun des substrats à inspecter ; un moyen de commande pour régler la sonde d'inspection d'un schéma de câblage en tant que première section d'inspection et pour régler les sondes d'inspection pour des schémas de câblage autres que ce schéma de câblage en tant que secondes sections d'inspection pour chacun des substrats à inspecter ; un moyen de commutation pour régler une pluralité de premières sections d'inspection en tant que premier groupe en connectant des premières sections d'inspection en parallèle et pour régler une pluralité de sections d'inspection en tant que second groupe en connectant des secondes sections d'inspection en parallèle ; un moyen d'alimentation en courant pour générer une différence de potentiel prescrite entre le premier et second groupe ; un moyen de détection pour détecter des caractéristiques électriques entre le premier et second groupe ; et un moyen de jugement pour juger l'existence d'un court-circuit à partir des caractéristiques électriques.
(JA)【課題】 複数の基板に対して並列的に短絡検査を実施し、短絡の検査回数を減少させて検査時間を短縮することのできる基板検査装置の提供。 【解決手段】 複数の被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置であって、被検査基板の配線パターン上に設定される検査用プローブを複数有し、複数の被検査基板毎に応じて配置される複数の基板検査用治具と、複数の被検査基板毎に、一の配線パターンの検査用プローブを第一検査部と設定し、一の配線パターン以外の配線パターンの検査用プローブを第二検査部と設定する制御手段と、複数の第一検査部を並列接続して第一群とし、複数の第二検査部を並列接続して第二群と設定する切替手段と、第一と第二群間に所定電位差を生じさせる電力供給手段と、第一と第二群間の電気的特性を検出する検出手段と、この電気的特性に基づいて短絡の有無を判定する判定手段を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)