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Paramétrages

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1. WO2007147643 - NANOMICROPHONE OU NANOCAPTEUR DE PRESSION

Numéro de publication WO/2007/147643
Date de publication 27.12.2007
N° de la demande internationale PCT/EP2007/005613
Date du dépôt international 25.06.2007
CIB
B81C 1/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
H04R 19/04 2006.01
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
RHAUT-PARLEURS, MICROPHONES, TÊTES DE LECTURE POUR TOURNE-DISQUES OU TRANSDUCTEURS ACOUSTIQUES ÉLECTROMÉCANIQUES ANALOGUES; APPAREILS POUR SOURDS; SYSTÈMES D'ANNONCE EN PUBLIC
19Transducteurs électrostatiques
04Microphones
CPC
B81B 2201/0257
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0257Microphones or microspeakers
B81B 2201/0264
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0264Pressure sensors
B81B 2203/0127
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0127Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function
B81C 1/00158
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00015for manufacturing microsystems
00134comprising flexible or deformable structures
00158Diaphragms, membranes
G01L 9/0042
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
H04R 19/04
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
04Microphones
Déposants
  • UNIVERSITÄT BIELEFELD [DE/DE]; Universitätsstrasse 25 33615 Bielefeld, DE (AllExceptUS)
  • GÖLZHÄUSER, Armin [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • GÖLZHÄUSER, Armin; DE
Mandataires
  • ROCKE, Carsten; Müller-Boré & Partner Grafinger Strasse 2 81671 München, DE
Données relatives à la priorité
10 2006 028 990.023.06.2006DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) NANOMIKROFON BZW. -DRUCKSENSOR
(EN) NANO-MICROPHONE OR PRESSURE SENSOR
(FR) NANOMICROPHONE OU NANOCAPTEUR DE PRESSION
Abrégé
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung bzw. Detektion und/oder Generation von Drücken und/oder Druckänderungen, insbesondere akustischer Schwingungen und ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Nano-Mikrofon. Die Vorrichtung umfasst zumindest eine Nanomembran, welche eine Trägermembran umfasst, und zumindest eine Gegenelektrode, wobei die Trägermembran zumindest eine Monoschicht umfasst.
(EN)
The invention relates to a method and a device for measuring or detecting and/or generating of pressures or pressure changes, in particular acoustic vibration and a method for production of such a device. The invention particularly relates to a nano-microphone. The device comprises at least one nano-membrane with a support membrane and at least one counter-electrode, the support membrane having at least one monolayer.
(FR)
L'invention concerne un dispositif et un procédé servant à mesurer ou détecter et/ou à générer des pressions et/ou des variations de pression, notamment de vibrations acoustiques. L'invention concerne également un procédé servant à produire un tel dispositif. L'invention concerne notamment un nanomicrophone. Le dispositif selon l'invention comprend au moins une nanomembrane comprenant une membrane support, ainsi qu'au moins une contre-électrode, la membrane support comprenant au moins une monocouche.
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