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1. (WO2007145792) chambre pour source laser excimEr à haute énergie
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/145792    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/012393
Date de publication : 21.12.2007 Date de dépôt international : 22.05.2007
CIB :
H01S 3/20 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US) (Tous Sauf US).
STEIGER, Thomas, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : STEIGER, Thomas, D.; (US).
PARTLO, William, N.; (US)
Mandataire : HILLMAN, Matthew; Cymer, Inc., Legal Dept. MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US)
Données relatives à la priorité :
11/447,502 05.06.2006 US
Titre (EN) CHAMBER FOR A HIGH ENERGY EXCIMER LASER SOURCE
(FR) chambre pour source laser excimEr à haute énergie
Abrégé : front page image
(EN)A chamber for a gas discharge laser is disclosed and may include a chamber housing having a wall, the wall having an inside surface surrounding a chamber volume and an outside surface, the wall also being formed with an orifice. For the chamber, at least one electrical conductor may extend through the orifice to pass an electric current into the chamber volume. A member may be disposed between the conductor and the wall for preventing gas flow through the orifice to allow a chamber pressure to be maintained in the volume. The chamber may further comprise a pressurized compartment disposed adjacent to the orifice for maintaining a pressure on at least a portion of the outside surface of the wall to reduce bowing of the wall near the orifice due to chamber pressure.
(FR)L'invention concerne une chambre pour laser à gaz et peut comprendre un logement de chambre qui présente une paroi, la paroi présentant une surface interne qui entoure le volume de la chambre et une surface externe, un orifice étant également formé dans la paroi. Pour la chambre, au moins un conducteur électrique peut s'étendre à travers l'orifice afin qu'un courant électrique puisse passer dans le volume de la chambre. Un élément peut être placé entre le conducteur et la paroi pour empêcher un écoulement gazeux de traverser l'orifice et donc pour permettre de maintenir une pression dans le volume de la chambre. La chambre peut de plus comprendre un compartiment pressurisé placé à côté de l'orifice pour maintenir une pression sur au moins une partie de la surface externe de la paroi afin de réduire le bombement de la paroi provoqué près de l'orifice par la pression dans la chambre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)