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1. (WO2007145791) dispositif et procédé pour stabiliser la forme et la symétrie du faisceau dans des applications à laser pulsé à haute énergie
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/145791    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/012389
Date de publication : 21.12.2007 Date de dépôt international : 22.05.2007
CIB :
H01S 3/08 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US) (Tous Sauf US).
HOFMANN, Thomas [DE/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HOFMANN, Thomas; (US)
Mandataire : HILLMAN, Matthew, K.; Cymer, Inc., Legal Dept. MS/4-2c, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US)
Données relatives à la priorité :
11/447,380 05.06.2006 US
Titre (EN) DEVICE AND METHOD TO STABILIZE BEAM SHAPE AND SYMMETRY FOR HIGH ENERGY PULSED LASER APPLICATIONS
(FR) dispositif et procédé pour stabiliser la forme et la symétrie du faisceau dans des applications à laser pulsé à haute énergie
Abrégé : front page image
(EN)A beam mixer for increasing intensity symmetry along a selected axis of a beam (wherein the beam extends from a first edge to a second edge along the axis) is disclosed and may include a plurality of mirrors establishing a spatially inverting path. For the beam mixer, the inverting path may have a beginning and an end and may be characterized in that a part of the beam near the first beam edge at the beginning of the path translates to the second beam edge at the end of the path. For this aspect, the beam mixer may further include an optic dividing the beam into first and second beam portions, the optic placing the first portion onto the inverting path and recombining the first and second portions onto a common path after the first portion has traveled along the inverting path thereby mixing the beam.
(FR)L'invention concerne un mélangeur de faisceau qui augmente la symétrie de l'intensité le long d'un axe sélectionné d'un faisceau (le faisceau s'étendant entre un premier bord et un deuxième bord le long de l'axe) et elle peut comprendre plusieurs miroirs qui définissent un parcours d'inversion spatiale. Pour le mélangeur de faisceau, le parcours d'inversion peut avoir un commencement et une fin et peut être caractérisé en ce qu'une partie du faisceau proche du premier bord de faisceau au début du parcours subit une translation vers la deuxième extrémité du faisceau à la fin du parcours. Dans cet aspect, le mélangeur de faisceau peut de plus comprendre un instrument optique qui divise le faisceau en une première et une deuxième partie de faisceau, l'instrument optique plaçant la première partie sur le parcours d'inversion et recombinant la première et la deuxième partie sur un parcours commun après que la première partie a voyagé le long du parcours d'inversion, pour ainsi mélanger le faisceau.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)