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Paramétrages

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1. WO2007145224 - PROCÉDÉ DE MESURE D'ANGLE D'INCLINAISON FINALE, PROCÉDÉ ET APPAREIL D'INSPECTION POUR DES OBJETS COMPORTANT DES ONDULATIONS, PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER LA POSITION DE MOYENS D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'INSPECTION D'IRRÉGULARITÉS, ET APPAREIL DE DÉTERMINAT

Numéro de publication WO/2007/145224
Date de publication 21.12.2007
N° de la demande internationale PCT/JP2007/061842
Date du dépôt international 12.06.2007
CIB
G01B 11/26 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
26pour mesurer des angles ou des cônes; pour tester l'alignement des axes
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
G01M 11/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
G01N 21/88 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
CPC
G01B 11/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
26for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
G01B 11/306
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
306for measuring evenness
G02F 1/1309
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
01for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
13based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
1306Details
1309Repairing; Testing
Déposants
  • シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 〒5458522 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 Osaka 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi Osaka 5458522, JP (AllExceptUS)
  • 井殿 多聞 IDEN, Tamon; null (UsOnly)
Inventeurs
  • 井殿 多聞 IDEN, Tamon; null
Mandataires
  • 特許業務法人原謙三国際特許事務所 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 〒5300041 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Osaka Daiwa Minamimorimachi Building 2-6, Tenjinbashi 2-chome, Kita Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300041, JP
Données relatives à la priorité
2006-16288912.06.2006JP
2006-33105907.12.2006JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) END INCLINATION ANGLE MEASURING METHOD, INSPECTING METHOD AND INSPECTING APPARATUS FOR OBJECTS HAVING UNDULATIONS, METHOD FOR DETERMINING THE POSITION OF ILLUMINATING MEANS, IRREGULARITY INSPECTING APPARATUS, AND ILLUMINATING POSITION DETERMINING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE D'ANGLE D'INCLINAISON FINALE, PROCÉDÉ ET APPAREIL D'INSPECTION POUR DES OBJETS COMPORTANT DES ONDULATIONS, PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER LA POSITION DE MOYENS D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'INSPECTION D'IRRÉGULARITÉS, ET APPAREIL DE DÉTERMINAT
(JA) 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置、照明手段の位置を決定する方法、ムラ検査装置、照明位置決定装置
Abrégé
(EN)
Provided is an end inclination angle measuring method for an object having undulations. The end inclination angle measuring method comprises the step (A) of irradiating the object with a light, the step (B) of detecting the reflected light distribution of the object, the step (C) of determining a characteristic point of the reflected light distribution from the detection result of the reflected light distribution, and the step (D) of determining, on the basis of the irradiation angle of the light at the step (A) with respect to a position on the object corresponding to the characteristic point and the detection angle of a reflected light at the step (B) according to the position on the object corresponding to the characteristic point, an end inclination or the inclination near the end of the undulations. Further provided are a method for determining an end inclination angle or an inclination angle near the end of undulations in an object having the undulations, and a method for inspecting the difference in thickness between individual undulations precisely on the basis of an end inclination angle.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de mesure d'angle d'inclinaison finale pour un objet présentant des ondulations. Le procédé de mesure d'angle d'inclinaison finale comprend l'étape (A) consistant à irradier l'objet avec une lumière, l'étape (B) consistant à détecter la distribution de lumière réfléchie de l'objet, l'étape (C) consistant à déterminer un point caractéristique de la distribution de lumière réfléchie à partir du résultat de détection de la distribution de lumière réfléchie, et l'étape (D) consistant à déterminer, sur la base de l'angle d'irradiation de la lumière à l'étape (A) par rapport à une position sur l'objet correspondant au point caractéristique et à l'angle de détection d'une lumière réfléchie à l'étape (B) selon la position de l'objet correspondant au point caractéristique, une inclinaison finale ou l'inclinaison à proximité de l'extrémité des ondulations. L'invention concerne en outre un procédé pour déterminer un angle d'inclinaison finale ou un angle d'inclinaison à proximité de l'extrémité des ondulations dans un objet comportant les ondulations, et un procédé pour inspecter la différence d'épaisseur entre des ondulations individuelles de manière précise sur la base d'un angle d'inclinaison finale.
(JA)
 本発明に係る端部傾斜角測定方法は、上記課題を解決するために、起伏を有する被検査物における、端部傾斜角測定方法であって、上記被検査物に光を照射するステップAと、上記被検査物の反射光分布を検知するステップBと、上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップCと、上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップAにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップBにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップDと、を含むこれにより、起伏を有する被検査物における、前記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求める方法および端部傾斜角に基づいて、各起伏間の起伏厚の差を精度よく検査する方法を提供する。
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