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1. (WO2007145156) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/145156    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/061697
Date de publication : 21.12.2007 Date de dépôt international : 11.06.2007
CIB :
G01R 31/02 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01), G01R 27/02 (2006.01)
Déposants : NIDEC-READ CORPORATION [JP/JP]; 10 Tsutsumisoto-cho, Nishikyogoku, Ukyo-ku, kyoto-shi Kyoto 6150854 (JP) (Tous Sauf US).
YAMASHITA, Munehiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMASHITA, Munehiro; (JP)
Mandataire : ITASAKA, Kiyoshi; ITASAKA PATENT OFFICE, TOKUGIN-SOUSAN BUILDING 6F 1-8-12 Shimanouchi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420082 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-166583 15.06.2006 JP
Titre (EN) SUBSTRATE INSPECTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a substrate inspecting device, which can shorten its inspection time period and which has a highly efficient circuit for the inspection. The substrate inspecting device (21) comprises first and second current feeding terminals (22, 23), first and second voltage measuring terminals (24, 25), a current feeding unit (26), a voltage measuring unit (27) and a voltage stabilizing unit (28), thereby to inspect a substrate having a plurality of wiring patterns (29). The voltage stabilizing unit (28) is connected with the second voltage measuring terminal (25), thereby to stabilize voltages of the second voltage measuring terminal (25) and the contact portions of the wiring patterns (29) with the voltage measuring terminal (25). More specifically, the voltage stabilizing unit (28) is constituted to include an operation amplifier (41).
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'inspection de substrat, capable de raccourcir sa période d'inspection et possédant un circuit très efficace pour l'inspection. Le dispositif d'inspection de substrat (21) comprend une première et une seconde borne d'alimentation en courant (22, 23), une première et une seconde borne de mesure de la tension (24, 25), une unité d'alimentation en courant (26), une unité de la mesure de la tension (27) et une unité de stabilisation de la tension (28), permettant ainsi d'inspecter un substrat ayant une pluralité de motifs de câblage (29). L'unité de stabilisation de la tension (28) est raccordée à la seconde borne de mesure de la tension (25), pour ainsi stabiliser les tensions de la seconde borne de mesure de la tension (25) et les parties de contact des motifs de câblage (29) avec la borne de mesure de la tension (25). Plus précisément, l'unité de stabilisation de la tension (28) est constituée de manière à inclure un amplificateur d'opération (41).
(JA) 本発明は、検査時間の短縮が図れ、検査のための回路の効率がよい基板検査装置を提供する。そして、この基板検査装置(21)は、第1及び第2の電流供給端子(22,23)と、第1及び第2の電圧計測端子(24,25)と、電流供給部(26)と、電圧計測部(27)と、電圧安定部(28)とを備えており、複数の配線パターン(29)が設けられた基板の検査を行う。電圧安定部(28)は、第2の電圧計測端子(25)に電気的に接続され、その第2の電圧計測端子(25)及び配線パターン(29)の電圧計測端子(25)との接触部の電圧を安定させるようになっている。より具体的には、電圧安定部(28)は、オペアンプ(41)を備えて構成されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)